칼슘 코발테이트
스퍼터링 타겟은 독특한 층상 결정 구조를 가진 고성능 열전 산화물 세라믹 타겟입니다. 물리적 기상 증착(PVD) 공정에서 우수한 열전 특성과 고온 안정성을 지닌 기능성 박막을 제조하는 데 사용되며, 주로 마이크로 열전 변환 장치, 고온 센서 및 신개념 전자 부품 분야에 적용됩니다.
이 타겟의 상세한 기술적 매개변수 또는 특정 응용 솔루션에 대해 논의하기 위해 당사의 기술 팀이 일대일 지원을 제공할 준비가 되어 있습니다.
고순도 상 제어 합성
우수한 박막 열전 특성
탁월한 고온 안정성
맞춤형
형상 및 크기
마이크로 열전 변환 장치:
수직 방향으로 스퍼터링된 박막의 높은 열전 전력 계수를 활용하여 마이크로전자 시스템 및 IoT 센서를 위한 효율적인 소형 폐열 회수 및 자가 전원 공급이 가능합니다.
고온 서미스터:
재료의 우수한 고온 열안정성과 저항률로 인해 제조된 박막은 극한 환경에서 작동하는 온도 센서 부품 개발에 활용됩니다.
신규 산화물 전자 소자:
핵심 기능층 소재로서 특수한 자기적·전기적 전도 특성을 지닌 차세대 전산화 박막 소자의 연구 개발에 사용되며, 첨단 기초 연구 및 시제품 개발에 기여합니다.
질문
Q1: 칼슘 코발트 산화물 타겟을 이용한 스퍼터링으로 제조된 박막의 주요 열전 성능 지표는 무엇인가요?
A1: 핵심은 박막의 젬베크 계수(열전전위)와 전력 계수에 있습니다. 엄격한 공정 관리를 통해 타겟이 높은 젬베크 계수와 적절한 전도도를 가진 박막을 증착할 수 있도록 하여 우수한 전력 계수를 확보합니다.
Q2: 스퍼터링 시 박막의 화학량론적 비율이 타겟과 일치하도록 보장하는 방법은 무엇인가요?
A2: 소결 공정 최적화를 통해 고도로 균일하고 치밀한 타겟 구성을 확보하며, 적절한 스퍼터링 분위기(아르곤-산소 혼합기체 등) 및 기판 온도 사용을 권장합니다. 이를 통해 증착 과정 중 산소 손실을 효과적으로 줄이고 박막의 화학량론적 비율을 유지합니다.
Q3: 이 타입의 타겟에는 일반적으로 어떤 백플레인이 결합됩니까?
A3: 고객의 장비 및 공정 요구사항에 따라, 우수한 열전도성과 전기적 접촉을 보장하고 다양한 전력 수준에서 안정적인 스퍼터링 요구사항을 충족시키기 위해 결합용
백킹 재료로 구리 또는 몰리브덴을 일반적으로 사용합니다.
Q4: 박막의 증착 속도와 결정 품질은 어떻게 제어합니까?
A4: 증착 속도는 주로 스퍼터링 전력 및 작업 가스 압력의 영향을 받습니다. 박막의 결정 품질(방향성, 입자 크기)은 기판 온도, 어닐링 공정 및 스퍼터링 대기를 정밀하게 제어하여 최적화해야 합니다. 당사는 고객에게 기본 공정 파라미터 지침을 제공할 수 있습니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 시험 보고서 제공
저희는 첨단 산화물 세라믹 재료 제조를 전문으로 하며, 칼슘 코발테이트와 같은 복합 산화물에 대한 심층적인 연구 및 생산 경험을 보유하고 있습니다. 안정된 품질과 신뢰할 수 있는 성능의 고순도 스퍼터링 타겟을 제공할 뿐만 아니라, 고객의 새로운 기능성 박막 개발에 든든한 지원이 되기 위해 노력하고 있습니다.
분자식: Ca₃Co₄O₉
분자량: 485.71 g/mol
외관: 검은색 또는 진한 파란색 표적 물질
밀도 4.50 g/cm³
융점: 1,550°C
결정 구조: 육각형 결정 시스템
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
