Calcium-Kobaltat
-Sputter-Targets sind hochleistungsfähige thermoelektrische Oxidkeramik-Targets mit einer einzigartigen geschichteten Kristallstruktur. Sie werden in der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) zur Herstellung von funktionalen Dünnschichten mit hervorragenden thermoelektrischen Eigenschaften und hoher Temperaturstabilität verwendet, vor allem für Anwendungen in mikrothermoelektrischen Umwandlungsvorrichtungen, Hochtemperatursensoren und neuartigen elektronischen Bauteilen.
Für detaillierte technische Parameter dieses Targets oder zur Besprechung spezifischer Anwendungslösungen steht Ihnen unser technisches Team gerne persönlich zur Verfügung.
Hochreine phasengesteuerte Synthese
Hervorragende thermoelektrische Eigenschaften der Dünnschicht
Gute Hochtemperaturstabilität
Anpassbare
Formen und Größen
Mikrothermoelektrische Umwandlungsvorrichtungen:
Durch die Nutzung des hohen thermoelektrischen Leistungsfaktors von gesputterten Dünnschichten in vertikaler Richtung werden eine effiziente Abwärmerückgewinnung im kleinen Maßstab und eine Eigenstromversorgung für mikroelektronische Systeme und IoT-Sensoren erreicht.
Hochtemperatur-Thermistoren:
Aufgrund der ausgezeichneten thermischen Stabilität und des Widerstandes des Materials bei hohen Temperaturen können die hergestellten Dünnschichten zur Entwicklung von Temperatursensor-Komponenten verwendet werden, die in extremen Umgebungen eingesetzt werden.
Neuartige elektronische Oxid-Bauelemente:
Als wichtiges Material für Funktionsschichten wird es in der Forschung und Entwicklung von All-Oxid-Dünnschichtbauelementen der nächsten Generation mit besonderen magnetischen und elektrischen Transporteigenschaften verwendet und dient der Spitzenforschung und Prototypenentwicklung.
F1: Was sind die wichtigsten thermoelektrischen Leistungsindikatoren von Dünnschichten, die durch Sputtern mit Kalzium-Kobalt-Oxid-Targets hergestellt wurden?
A1: Der Schlüssel liegt im Seebeck-Koeffizienten (thermoelektrisches Potenzial) und im Leistungsfaktor der Dünnschicht. Durch strenge Prozesskontrolle stellen wir sicher, dass das Target Dünnschichten mit hohen Seebeck-Koeffizienten und geeigneter Leitfähigkeit abscheiden kann, wodurch hervorragende Leistungsfaktoren erzielt werden.
F2: Wie kann sichergestellt werden, dass die Stöchiometrie der Dünnschicht während des Sputterns mit der des Targets übereinstimmt?
A2: Wir gewährleisten eine hochgradig gleichmäßige und dichte Targetzusammensetzung durch Optimierung des Sinterprozesses und empfehlen die Verwendung geeigneter Sputteratmosphären (z. B. Argon-Sauerstoff-Gemische) und Substrattemperaturen, um den Sauerstoffverlust während der Abscheidung wirksam zu reduzieren und die Stöchiometrie der Dünnschicht aufrechtzuerhalten.
F3: Welche Trägerplatten werden typischerweise mit dieser Art von Target verbunden?
A3: Je nach den Anforderungen des Kunden an die Ausrüstung und den Prozess verwenden wir üblicherweise Kupfer oder Molybdän als Trägermaterial für die Verbindung
, um eine gute Wärmeleitfähigkeit und einen guten elektrischen Kontakt zu gewährleisten und die Anforderungen an ein stabiles Sputtern bei verschiedenen Leistungsstufen zu erfüllen.
F4: Wie werden die Abscheidungsrate und die Kristallqualität der Dünnschicht gesteuert?
A4: Die Abscheidungsrate wird hauptsächlich durch die Sputterleistung und den Arbeitsgasdruck beeinflusst. Die Kristallqualität des Dünnfilms (Orientierung, Korngröße) muss durch präzise Steuerung der Substrattemperatur, des Temperprozesses und der Sputteratmosphäre optimiert werden. Wir können unseren Kunden grundlegende Hinweise zu den Prozessparametern geben.
Jede Charge wird mit folgenden Dokumenten geliefert:
Analysezertifikat (COA)
Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich
Wir sind auf die Herstellung fortschrittlicher Oxidkeramikmaterialien spezialisiert und verfügen über fundierte Forschungs- und Produktionserfahrung mit komplexen Oxiden wie Calciumkobaltat. Wir bieten nicht nur hochreine Sputtertargets mit stabiler Qualität und zuverlässiger Leistung, sondern sind auch bestrebt, unsere Kunden bei der Entwicklung neuartiger funktioneller Dünnschichten tatkräftig zu unterstützen.
Molekulare Formel: Ca₃Co₄O₉
Molekulargewicht: 485,71 g/mol
Äußeres Erscheinungsbild: Schwarzes oder dunkelblaues Zielmaterial
Dichte: 4,50 g/cm³
Schmelzpunkt: 1.550 °C
Kristallstruktur: Hexagonales Kristallsystem
Innenverpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kartons, um Verunreinigungen und Feuchtigkeit zu vermeiden.
Außenverpackung: Kartons oder Holzkisten, ausgewählt nach Größe und Gewicht.
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