불화 칼슘

불화칼슘 스퍼터링 타겟 개요

불화칼슘
스퍼터링 타겟은 물리적 기상 증착(PVD) 기술에 사용되는 고순도, 고밀도 세라믹 타겟입니다. 주로 탁월한 광학적 및 화학적 특성을 지닌 불화칼슘 박막을 기판에 증착하는 데 활용되며, 자외선 광학
부품, 반도체
기능층, 특수 코팅 제조의 핵심 소재로 기능합니다.

당사는 고순도부터 초고순도 등급에 이르는 불화칼슘 스퍼터링 타겟을 전문적으로 공급합니다. 다양한 크기와 형상의 맞춤
제작은 물론, 고강도 금속 백킹 플레이트 접합
서비스를 지원합니다. 맞춤형 솔루션 또는 성능 매개변수에 대해서는 당사 기술팀에 즉시 문의해
주십시오.

제품 하이라이트

초고순도
탁월한 밀도 및 미세구조 균일성
극히 낮은 자외선 흡수율
고정밀 가공 및 우수한 표면 마감
탁월한 내열 충격성 및 스퍼터링 안정성

불화칼슘 스퍼터링 타겟 적용 분야

고성능 광학 코팅:
자외선에서 적외선 스펙트럼에 걸쳐 반사 방지 코팅, 보호막, 고반사율 코팅 제작에 사용됩니다. 고에너지 레이저 시스템, 천문 관측 장비, 첨단 리소그래피 장비용 광학 부품에 널리 적용됩니다.

반도체 및 마이크로일렉트로닉스:
특정 반도체 공정에서 절연층 또는 패시베이션 층 재료로 사용됩니다. 박막은 우수한 유전 특성과 화학적 안정성을 나타내어 장치 신뢰성을 향상시킵니다.

레이저 부품 및 윈도우:
불화칼슘 박막의 직접 증착 또는 다층 구조 제작에 사용되어 높은 손상 임계값을 가진 레이저 윈도우, 렌즈 및 비선형 광학 소자를 생산합니다.

연구 및 특수 기능성 코팅:
신종 저굴절률 재료, 초경질 코팅, 방사선 저항 코팅 등 첨단 분야 탐구 및 개발을 위한 기초 타겟 재료로 활용됩니다.

자주 묻는 질문

Q1: 타겟 순도가 최종 증착 필름 성능에 얼마나 큰 영향을 미치나요?
A1: 순도는 결정적 요소 중 하나입니다. 과도한 금속 불순물과 산소 함량은 자외선 대역에서의 흡수 손실을 크게 증가시킬 수 있으며, 결함을 유발하여 필름의 레이저 손상 임계값과 장기적 안정성에 영향을 미칠 수 있습니다.

Q2: 왜 불화칼슘 타겟은 공정 중 반응성 스퍼터링이 필요한 경우가 있나요?
A2: 필름의 화학량론 비율(칼슘 대 불소 비율)을 정밀하게 제어하고 잠재적인 불소 손실을 보정하기 위해, 일반적으로 불소 함유 반응성 가스(예: CF₄)를 소량의 스퍼터링 가스(예: 아르곤)에 도입하여 최적의 광학적 특성을 가진 불화칼슘 필름을 얻습니다.

Q3: 이 타겟 재료는 전도성이 있나요? 스퍼터링 장비에 어떻게 설치 및 사용하나요?
A3: 불화칼슘은 절연체로 전기를 전도하지 않습니다. 따라서 마그네트론 스퍼터링 시 RF 전원 공급 장치를 사용해야 하며, 효과적인 냉각을 위해 백킹 플레이트를 견고하게 접합해야 합니다. 설치 시 타겟과 장비 베이스의 접촉면이 깨끗하고 평평하도록 하여 효율적인 열전달을 보장해야 합니다.

Q4: 이 타겟으로 증착된 필름은 일반적으로 어떤 색상을 나타내나요?
A4: 고품질 불화칼슘 필름은 가시광선 영역에서 거의 완전히 투명하며 식별 가능한 색상이 없습니다. 필름이 옅은 노란색을 띠거나 다른 색조를 보인다면, 이는 화학량론 비율의 편차나 오염을 나타낼 수 있으므로 공정 매개변수 최적화가 필요합니다.

보고

각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)

기술 데이터 시트(TDS)

물질안전보건자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 시험 보고서 제공

왜 저희를 선택해야 할까요?

저희는 반도체용 첨단 광학
코팅 및 세라믹 타겟의 연구 개발 및 제조를 전문으로 하며, 고순도 불화물 소재 생산의 과제와 공정 요구 사항에 대한 깊은 전문성을 보유하고 있습니다. 독자적인 정제 및 핫프레스 소결 기술을 통해 타겟의 순도, 밀도, 미세 구조 간의 탁월한 균형을 달성합니다.