티타늄 하산화물
회전 타겟은 연속적이고 고효율 코팅을 위해 특별히 설계된 관형 세라믹 스퍼터링 타겟입니다. 회전 운동을 통해 타겟 표면의 균일한 에칭을 보장합니다. 높은 재료 활용률, 높은 증착 속도 및 연장된 수명을 제공하여 대규모 연속 산업 생산에 특히 적합합니다.
금속 또는 복합 백킹 튜브 본딩을
지원하는 다양한 사양의 TiOx 회전 타겟을 제공합니다. 생산 라인 요구 사항을 충족시키기 위한 포괄적인 설치 및 유지보수 기술 지원이
제공됩니다.
특징
초고 재료 활용률 (>80%)
높은 증착률로 지속적인 안정성 유지
스퍼터링 결절 감소 및 우수한 필름 균일성
맞춤형 비표준 길이 제작 가능
통합 결합
기술
대면적 건축용 유리 코팅:
에너지 효율적인 건축용 유리의 연속 생산 라인에서 TiOx 회전 타겟은 효율적이고 균일한 대면적 코팅을 가능하게 하여 처리량과 필름 일관성을 크게 향상시킵니다.
유연한 롤-투-롤 코팅:
유연한 기판(예: PET, PI 필름)에 대한 연속 롤-투-롤 코팅 공정에 이상적이며, 플렉서블 디스플레이, 플렉서블 PV 및 패키징 산업을 위한 고효율 생산 솔루션을 제공합니다.
대면적 디스플레이 패널:
TFT-LCD 및 OLED와 같은 대형 디스플레이 패널의 전극 또는 기능층 준비에 사용되며, 고세대 라인에서 요구되는 대면적 균일성과 생산 주기 시간에 대한 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
연속 광학 코팅:
광학 필터, 반사 방지 유리 및 유사 제품의 연속 생산에서 광학 필름 두께와 성능의 장기적 안정성 및 재현성을 보장합니다.
Q1: 평면 타겟 대비 회전 타겟의 주요 장점은 무엇인가요?
A1: 핵심 장점은 재료 활용도(회전 타겟 80% 이상 vs. 평면 타겟 약 30%)와 연속 가동 수명에 있습니다. 회전 설계로 더 넓고 균일한 식각 영역을 구현하여 타겟 교체 빈도와 전체 생산 비용을 크게 절감합니다.
Q2: TiOx 회전 타겟의 일반적인 길이 및 벽 두께 범위는 어떻게 되나요?
A2: 고객 장비 음극 사양에 따라 길이를 맞춤 제작하며, 일반적으로 1~6미터 범위입니다. 벽 두께는 타겟 직경, 접합 방식, 설계 수명에 따라 5mm~20mm 사이입니다.
Q3: 고속 작동 시 구조적 신뢰성과 냉각 효율은 어떻게 보장하나요?
A3: 고강도 백킹 튜브 소재와 최적화된 접합 공정을 활용하여 열 응력 하에서도 타겟과 백킹 튜브 간 견고한 접착력을 보장합니다. 또한 백킹 튜브 내 정밀 수로 설계로 효율적이고 균일한 냉각이 가능하여 장기적인 타겟 안정 작동을 확보합니다.
Q4: 회전 타겟에 대한 통합 접합 서비스를 제공하나요?
A4: 예. 세라믹 타겟 튜브 제작부터 백킹 튜브와의 통합 용접 및 접합에 이르는 완전한 서비스를 제공합니다. 접합 부위에 대한 엄격한 품질 검사(예: 초음파 검사)를 수행하여 열전도율, 강도 및 안전성이 생산 요구 사항을 충족하도록 보장합니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질안전보건자료(MSDS)
치수 검사 보고서
요청 시 제3자 시험 보고서 제공
저희는 고성능 TiOx 세라믹 타겟을 공급할 뿐만 아니라, 회전식 타겟 시스템의 핵심이 신뢰성과 생산 효율성에 있음을 깊이 이해하고 있습니다. 저희의 성숙한 통합 제조 및 접합 기술은 각 타겟이 탁월한 구조적 무결성과 냉각 효율을 발휘하도록 보장합니다.
분자식: TiOₓ(x는 사용자 지정 가능)
외관: 검은색에서 회색으로 회전하는 타겟
내부 포장: 오염과 습기를 방지하기 위해 진공 밀봉된 백 및 박스 포장.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 선택된 상자 또는 나무 상자.
