Subóxido de titanio

Objetivos rotativos de subóxido de titanio Descripción general

Los objetivos rotativos
de subóxido de titanio
son objetivos de pulverización cerámicos tubulares diseñados específicamente para un recubrimiento continuo y de alta eficiencia. Su movimiento giratorio garantiza un grabado uniforme de la superficie del objetivo. Con altas tasas de utilización, altas tasas de deposición y una vida útil prolongada, son especialmente adecuados para la producción industrial continua a gran escala en áreas extensas.

Ofrecemos objetivos rotativos de TiOx en múltiples especificaciones, compatibles con la unión
de tubos de soporte metálicos o compuestos. Ofrecemos asistencia técnica
completa para la instalación y el mantenimiento, con el fin de satisfacer los requisitos de su línea de producción.

Características destacadas del producto

Índice de utilización del material ultraalto (>80 %)
Estabilidad continua con altas tasas de deposición
Reducción de los nódulos de pulverización y excelente uniformidad de la película
Longitudes no estándar personalizables
Tecnología de unión
integrada

Aplicaciones de los blancos rotativos de subóxido de titanio

Recubrimiento de vidrio arquitectónico de gran superficie:
En líneas de producción continua de vidrio arquitectónico energéticamente eficiente, los blancos rotativos TiOx permiten un recubrimiento eficiente y uniforme de grandes superficies, lo que aumenta significativamente el rendimiento y la consistencia de la película.
Recubrimiento flexible rollo a rollo:
Ideal para procesos de recubrimiento continuo rollo a rollo sobre sustratos flexibles (por ejemplo, películas de PET, PI), ofrece soluciones de producción de alta eficiencia para pantallas flexibles, fotovoltaica flexible y la industria del embalaje.
Paneles de pantalla de gran superficie:
Se utilizan para la preparación de electrodos o capas funcionales en paneles de pantalla de gran tamaño, como TFT-LCD y OLED, y cumplen los estrictos requisitos de uniformidad en grandes superficies y tiempos de ciclo de producción en líneas de alta generación.
Recubrimiento óptico continuo:
Garantiza la estabilidad a largo plazo y la repetibilidad del espesor y el rendimiento de la película óptica en la producción continua de filtros ópticos, vidrio antirreflectante y productos similares.

Preguntas frecuentes

P1: ¿Cuáles son las principales ventajas de los blancos rotativos en comparación con los blancos planos?
R1: Las ventajas principales residen en la utilización del material (normalmente más del 80 % para los blancos rotativos frente a solo alrededor del 30 % para los blancos planos) y la vida útil operativa continua. El diseño rotativo permite áreas de grabado más grandes y uniformes, lo que reduce significativamente la frecuencia de sustitución de los blancos y los costes generales de producción.

P2: ¿Cuáles son los rangos típicos de longitud y espesor de pared de los blancos rotativos de TiOx?
R2: Personalizamos las longitudes en función de las especificaciones del cátodo del equipo del cliente, que suelen oscilar entre 1 y 6 metros. El espesor de la pared suele estar entre 5 mm y 20 mm, dependiendo del diámetro del blanco, el método de unión y la vida útil prevista.

P3: ¿Cómo se garantiza la fiabilidad estructural y la eficiencia de refrigeración durante el funcionamiento a alta velocidad?
R3: Utilizamos materiales de alta resistencia para los tubos de soporte y procesos de unión optimizados para garantizar una adhesión robusta entre el objetivo y el tubo de soporte bajo estrés térmico. Además, el diseño de precisión del canal de agua dentro del tubo de soporte permite una refrigeración eficiente y uniforme, lo que garantiza un funcionamiento estable del objetivo a largo plazo.

P4: ¿Ofrece su empresa servicios de unión integrados para objetivos rotativos?
R4: Sí. Ofrecemos un servicio completo, desde la fabricación del tubo del objetivo cerámico hasta la soldadura y unión integradas con el tubo de respaldo. Realizamos rigurosas inspecciones de calidad (por ejemplo, pruebas ultrasónicas) en la interfaz de unión para garantizar que la conductividad térmica, la resistencia y la seguridad cumplan con los requisitos de producción.

Informe

Cada lote se suministra con:
Certificado de análisis (COA)

Ficha técnica (TDS)

Ficha de datos de seguridad (MSDS)
Informe de inspección de tamaño
Informes de pruebas de terceros disponibles bajo petición

. ¿Por qué elegirnos?

No solo suministramos objetivos cerámicos TiOx de alto rendimiento, sino que también comprendemos profundamente que la esencia de los sistemas de objetivos giratorios reside en la fiabilidad y la eficiencia de la producción. Nuestra madura tecnología integrada de fabricación y unión garantiza que cada objetivo presente una integridad estructural y una eficiencia de refrigeración excepcionales.