酸化タングステン

酸化タングステンスパッタリングターゲット 概要

酸化タングステン スパッタリングターゲットは、機能性薄膜、スマート調光、オプトエレクトロニクスデバイス用に設計された高性能セラミック材料です。高純度、高密度であるため、薄膜成膜時に均一で安定した密着性の高い成膜が可能です。

弊社は、円形、長方形など様々な形状やサイズの酸化タングステンスパッタリングターゲットを提供し、お客様の特定の装置やアプリケーションの要件に応じてカスタマイズをサポートします。また、包括的な 技術サポートおよびアフターサービスを提供しています。

製品ハイライト

純度：99.95%～99.99
高密度、マグネトロンスパッタリングおよびパルスレーザー蒸着（PLD）に最適
カスタマイズ可能サイズ、形状、厚さ
ターゲットボンディングサービスあり
スマート調光ガラス、ガスセンサー、光触媒、オプトエレクトロニクスデバイスに適用可能

酸化タングステンスパッタリングターゲットの用途

スマート調光ガラスWO₃は、透明状態と遮光状態の間の可逆的な変換を実現するエレクトロクロミック膜の主要材料として使用できる。
ガスセンサー：WO₃膜は、NO₂やNH₃などのガスに対して良好な感度と応答性を有する。
オプトエレクトロニクスデバイス：太陽電池や光検出器などのデバイスのバッファ層や電極界面層として使用される。
光触媒：可視光触媒による汚染物質の分解、水の分解による水素の生成などの分野で広く使用されている。

レポート

弊社では 分析証明書（COA）WO₃ターゲットの各バッチについて、分析証明書（COA）、製品安全データシート（MSDS）および関連技術文書を提供します。同時に、製品の品質が科学研究と工業基準に適合していることを保証するために、第三者試験サービスをサポートしています。