アルミニウム銅鉄合金スパッタリングターゲットは、特に複雑な合金膜や準結晶構造を必要とする薄膜成膜プロセス用に設計された高度な機能性材料です。特定のニーズに合わせて組成やサイズをカスタマイズできるほか、包括的なアフターサービスも提供しています。
AlCuFeは安定した準結晶相を形成し、低熱伝導率、高硬度、優れた耐酸化性などのユニークな特性を示すことで注目されています。これらの特性により、AlCuFeターゲットは、最先端の研究開発や、通常とは異なる電子的、熱的、または構造的性能を必要とする高価値の用途に特に適しています。
純度:99.5%以上
標準およびカスタムのAl/Cu/Fe比率で入手可能
準結晶薄膜形成に対応
優れた硬度と耐摩耗性
優れた熱安定性と化学的安定性
高いスパッタ均一性と低不純物含有量
サイズ、形状、組成のカスタマイズが可能
準結晶コーティング:低摩擦、高硬度、良好な耐酸化性を有する薄膜の成膜に使用される。
表面技術:切削工具、金型、機械部品に硬質で耐摩耗性のある層を形成する。
遮熱コーティング:熱伝導率が低いため、熱応力にさらされる部品に最適。
装飾的および機能的コーティング:ユニークな光学的/電気的特性を持つ耐久性のある金属仕上げを施す。
先端エレクトロニクス:低損失または熱的に安定な合金膜の実験的開発をサポート
分析証明書(COA)
製品安全データシート(MSDS)
相構造またはXRD分析(ご要望に応じて)
お客様のご要望に応じて第三者試験も実施可能
化学式AlCuFe
外観メタリック
融点約 600-900 °C
熱伝導率:~10-50 W/m-K
電気伝導率:中程度;組成に依存
結晶構造:準結晶または金属間化合物を含むことがある。
磁気特性:一般的に非磁性
危険物として分類されていない
包装:コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物:安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。