アルミニウム鉄合金スパッタリングターゲットは、硬度、熱安定性、機械的強度の向上を必要とする薄膜用途向けに設計された特殊合金材料です。高純度(99.5%以上)でAl/Fe比のカスタマイズが可能なこれらのターゲットは、半導体、保護膜、磁性材料、先端研究用途に適しています。
アルミニウムの軽量で導電性の性質と、鉄の強度と強磁性特性を組み合わせたAlFeターゲットは、物理蒸着（PVD）システムにおいて強固な性能を発揮します。AlFeターゲットは、電気的、熱的、磁気的特性を調整した、硬く、均一で密着性の高い薄膜の形成を可能にします。
純度：99.5%以上
標準およびカスタムAl/Fe比（例：Al-1Fe、Al-40Fe）で入手可能
均一スパッタリングのための高密度と低気孔率
優れた熱的・機械的安定性
Fe含有量による強磁性挙動
カスタム形状およびボンディングが可能
半導体機械的耐久性が要求されるバッファー層やバリア膜用
磁気コーティング：磁気センサーや記録用途
保護ハードコート表面硬度と耐酸化性の向上
薄膜冶金MEMSやICパッケージングにおける多機能金属層の形成に適しています。
R&D材料科学：合金膜の研究や磁性材料の開発に使用
各AlFeスパッタリングターゲットの出荷には以下が含まれます：
分析証明書（COA）
製品安全データシート（MSDS）
表面品質および寸法検査報告書（ご要望に応じて）
ご要望に応じて、第三者機関による検査サポートもご利用いただけます。
化学式AlFe
外観メタリックグレー
密度：～2.9～3.5 g/cm³（組成による）
融点： 650-1200 °C（組成による）
熱伝導率：中～高（～150～210W/m・K）
電気伝導率：中程度 (~1.8-3.5 × 10⁷ S/m)
磁気特性：強磁性（Feに富む組成）
危険物として分類されていない
包装：コンタミネーションや湿気から保護するため、真空パックされている。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物：安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。
