アルミナドープ酸化亜鉛（AZO）

アルミナ添加酸化亜鉛回転ターゲット概要

アルミナ添加酸化亜鉛

回転ターゲットは

、大面積連続成膜プロセス向けに設計された透明導電性酸化物ターゲットであり、主に高効率・長サイクル薄膜成膜生産ラインで使用されます。

各種長さ・直径・ドープ比率の完全な回転ターゲットソリューションを提供し、お客様の設備に合わせた技術サービスをサポートします。詳細情報についてはお問い合わせ
ください。

製品の特長

高いターゲット利用率
安定した連続成膜プロセス
均一な組成分布
長期運転に適する
良好な膜均一性
自動化生産ラインに適する

アルミナドープ酸化亜鉛回転ターゲットの用途

大面積透明導電性薄膜生産：連続蒸着ラインに適し、長期運転下でも薄膜の電気的・光学的特性を安定維持。
ディスプレイパネル・タッチガラス製造：大型ディスプレイやタッチパネルの電極形成に採用。高い薄膜均一性と再現性が求められる用途。
薄膜太陽電池
モジュール：導電層形成材料として、モジュールの一貫性向上と生産効率化に貢献。
産業用機能性薄膜成膜：高スループットと安定したプロセスウィンドウを要求する産業グレード薄膜製造ニーズに適応。

よくある

質問Q1: 平坦ターゲットと比較した回転ターゲットの主な利点は？
A1: ターゲット利用率を大幅に向上させ、より長い連続コーティング運転を可能にします。

Q2: この回転ターゲットは専用装置が必要ですか？
A2: 対応する回転ターゲット用マグネトロンスパッタ装置との併用が必要です。 装置に応じたインターフェースのカスタマイズが可能です。

Q3: ドーピング比率は連続生産の安定性に影響しますか？
A3: 適切なドーピング設計により放電安定性と膜性能の一貫性を維持します。

Q4: 回転ターゲットの寿命はどのように評価されますか？
A4: 通常、ターゲット消耗率・稼働時間・膜性能安定性を総合的に評価します。

報告書

各バッチに付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
物質安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書（要請求

）当社を選ぶ理由

透明導電性酸化物回転ターゲットの製造・応用において成熟した経験を蓄積し、構造信頼性・組成均一性・装置適応性に注力。お客様の連続生産を安定的にサポートします。