亜酸化チタン

チタン亜酸化物回転ターゲット概要

チタン亜酸化物
回転ターゲットは、連続的で高効率なコーティングを目的に設計された管状セラミックスパッタリングターゲットです。回転動作によりターゲット表面の均一なエッチングを実現。高い材料利用率、高い成膜速度、長寿命を特徴とし、特に大規模な工業生産における大面積・連続生産に最適です。

金属または複合材バックチューブ接合
に対応した、各種仕様のTiOx回転ターゲットを提供。 お客様の生産ライン要件に応じた包括的な設置・保守技術サポート
を提供します。

製品の特徴

超高材料利用率（80%以上）
高成膜率での連続安定性
スパッタリングノードの低減と優れた膜均一性
カスタマイズ可能な非標準長
統合ボンディング
技術

酸化チタン回転ターゲットの応用例

大面積建築用ガラスコーティング：
省エネ建築用ガラスの連続生産ラインにおいて、TiOx回転ターゲットは効率的で均一な大面積コーティングを実現し、スループットと膜均一性を大幅に向上させます。
フレキシブルロールツーロールコーティング：

PETやPIフィルムなどのフレキシブル基板における連続ロールツーロールコーティングプロセスに最適。フレキシブルディスプレイ、フレキシブルPV、包装産業向けに高効率生産ソリューションを提供します。
大型ディスプレイパネル：
TFT-LCDやOLEDなどの大型ディスプレイパネルにおける電極層・機能層形成に使用され、高世代ラインにおける大面積均一性と生産サイクルタイムの厳しい要求を満たします。
連続光学コーティング：
光学フィルター、反射防止ガラスなどの連続生産において、光学膜厚と性能の長期安定性・再現性を保証します。

よくある

質問Q1: 平面ターゲットと比較したロータリーターゲットの主な利点は？
A1: 材料利用率（ロータリーターゲットは通常80%以上、平面ターゲットは約30%）と連続稼働寿命が核心的な利点です。ロータリー設計により、より大きく均一なエッチング領域を実現し、ターゲット交換頻度と総生産コストを大幅に削減します。

Q2: TiOxロータリーターゲットの標準的な長さ・肉厚範囲は？
A2: 長さは顧客設備のカソード仕様に基づきカスタマイズ（通常1～6メートル）。肉厚はターゲット直径・接合方法・設計寿命に応じて5mm～20mmの範囲です。

Q3: 高速運転時の構造信頼性と冷却効率をどのように確保していますか？
A3: 高強度バッキングチューブ材料と最適化されたボンディングプロセスを採用し、熱応力下でもターゲットとバッキングチューブ間の強固な接着を保証します。さらに、バッキングチューブ内の精密な水流路設計により効率的かつ均一な冷却を実現し、ターゲットの長期安定運転を確保します。

Q4: 回転ターゲットの統合ボンディングサービスを提供していますか？
A4: はい。セラミックターゲットチューブの製造からバッキングチューブとの溶接・接合まで一貫サービスを提供します。接合界面には超音波検査等の厳格な品質検査を実施し、熱伝導性・強度・安全性が生産要求を満たすことを保証します。

報告書

各ロットに付属：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
寸法検査報告書
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能

当社を選ぶ理由

高性能TiOxセラミックターゲットを供給するだけでなく

、

回転ターゲットシステムの核心が信頼性と生産効率にあることを深く理解しています。成熟した統合製造・接合技術により、各ターゲットが卓越した構造的完全性と冷却効率を発揮することを保証します。