亜鉛(Zn)とスズ(Sn)を特定の比率で合金化して調製された金属合金ターゲットである。本ターゲットは亜鉛の反応性とスズの安定性を兼ね備え、透明導電性酸化物(TCO)前駆体膜の成膜、機能性合金コーティング、または特殊めっき材料として適している。 Zn/Sn比の調整や反応性スパッタリングプロセスの採用により、膜特性を柔軟に制御可能であり、先進ディスプレイ、太陽光発電、保護コーティング分野で高い応用価値を提供します。
お客様の要件に応じ、様々なZn/Sn原子比(例:Zn:Sn = 1:1、2:1)と高純度(≥99.9%)の金属合金スパッタリングターゲットをカスタマイズ可能です。複数のサイズとボンディングサービスを提供しております。専門的な技術サポート
についてはお問い合わせください。
柔軟な組成
高純度金属合金
優れた導電性と延性
多様な薄膜成膜能力
専門的なボンディングサービスを提供
透明導電膜前駆体:次世代ディスプレイやタッチ技術向けに、反応性スパッタ酸化法による亜鉛スズ酸化物透明導電膜の成膜に使用。
合金コーティング・保護:電子部品、コネクタ、海洋環境保護向けに優れた耐食性を提供する亜鉛スズ合金コーティングを成膜。
薄膜太陽
電池:銅亜鉛硫化物薄膜太陽電池における亜鉛スズ緩衝層または吸収層の作製用前駆体材料として機能。
溶接・界面材料:マイクロエレクトロニクスパッケージングにおける溶接材料または界面拡散層として機能する低融点合金膜を堆積。
Q1: ZnSnターゲットの主な用途は?
A1: 透明導電膜の製造と耐食性合金保護コーティングが主要用途。反応性スパッタリングにより膜組成・特性を柔軟に制御可能。
Q2: 適切なZn/Sn比はどのように決定されますか?
A2: これはターゲット膜の特性に依存します。ZTO(酸化亜鉛スズ)透明導電膜には特定の最適比率が存在します。合金コーティングの場合、耐食性やはんだ付け性などの要求に基づいて比率を調整できます。
Q3: ターゲット材料の使用および保管時に取るべき予防措置は何ですか?
A3: 金属合金であるため、湿気や酸化を防ぐために密閉容器で保管してください。フィルムの純度に影響を与える表面汚染を避けるため、取り扱い時には手袋を着用してください。
Q4: 非標準サイズやボンディングのカスタマイズは可能ですか?
A4: はい。お客様の装置チャンバーやプロセス要件に基づき、ターゲット形状、寸法、厚みのカスタマイズをサポートします。専門的なバッキングプレートボンディングサービスも提供しています。
各バッチには以下を同梱:
分析証明書(COA)
技術データシート(TDS)
安全データシート(MSDS)
第三者試験報告書
ご要望に応じて提供
当社は金属合金ターゲットのカスタマイズ開発・製造を専門としています。専門的な技術ソリューションと柔軟なサービスにより、新規薄膜材料の探索・応用における多様なニーズにお応えします。
分子式ZnSn
外観銀白色の金属ターゲット材、緻密で均一、表面は明るい
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。