Fluoruro di calcio

Panoramica sui target di sputtering in fluoruro di calcio

I target di sputtering
in fluoruro di calcio
sono target ceramici ad alta purezza e alta densità utilizzati nella tecnologia di deposizione fisica da vapore (PVD). Impiegati principalmente per depositare film di fluoruro di calcio con eccezionali proprietà ottiche e chimiche su substrati, fungono da materiale di base fondamentale per la fabbricazione di componenti ottici
a raggi ultravioletti, strati funzionali semiconduttori
e rivestimenti speciali.

Siamo specializzati nella fornitura di target per sputtering al fluoruro di calcio di purezza elevata o ultra elevata. Offriamo servizi di personalizzazione
in varie dimensioni e forme, oltre a servizi di incollaggio
di piastre di supporto in metallo ad alta resistenza. Per soluzioni personalizzate o parametri prestazionali, contattate
immediatamente il nostro team tecnico.

Caratteristiche principali del prodotto

Purezza ultra elevata
Densità eccezionale e omogeneità microstrutturale
Assorbimento della luce UV estremamente basso
Lavorazione di precisione con elevata finitura superficiale
Eccezionale resistenza agli shock termici e stabilità di sputtering

Applicazioni dei target di sputtering in fluoruro di calcio

Rivestimenti ottici ad alte prestazioni:
utilizzati per preparare rivestimenti antiriflesso, pellicole protettive e rivestimenti ad alta riflettività nello spettro dall’ultravioletto all’infrarosso. Ampiamente applicati in componenti ottici per sistemi laser ad alta energia, strumenti di osservazione astronomica e apparecchiature litografiche avanzate.

Semiconduttori e microelettronica:
funge da materiale isolante o passivante in specifici processi di semiconduttori. I suoi film sottili presentano eccellenti proprietà dielettriche e stabilità chimica, migliorando l’affidabilità dei dispositivi.

Componenti laser e finestre:
utilizzati per la deposizione diretta di film di fluoruro di calcio o la fabbricazione di strutture multistrato per produrre finestre laser, lenti e dispositivi ottici non lineari con elevata soglia di danneggiamento.

Ricerca e rivestimenti funzionali specializzati:
funge da materiale di base per l’esplorazione e lo sviluppo di settori all’avanguardia come i nuovi materiali a basso indice di rifrazione, i rivestimenti ultra-duri e i rivestimenti resistenti alle radiazioni.

Domande frequenti

D1: In che misura la purezza del bersaglio influisce sulle prestazioni del film depositato finale?
R1: La purezza è uno dei fattori decisivi. Un eccessivo contenuto di impurità metalliche e di ossigeno può aumentare significativamente la perdita di assorbimento nella banda ultravioletta e può introdurre difetti, influenzando la soglia di danneggiamento del laser e la stabilità a lungo termine del film.

D2: Perché il bersaglio di fluoruro di calcio richiede talvolta una polverizzazione reattiva durante il processo?
A2: Per controllare con precisione il rapporto stechiometrico del film (rapporto calcio-fluoro) e compensare la potenziale perdita di fluoro, una piccola quantità di gas reattivo contenente fluoro (ad esempio CF₄) viene tipicamente introdotta nel gas di sputtering (ad esempio argon) per ottenere film di fluoruro di calcio con proprietà ottiche ottimali.

D3: Questo materiale target è conduttivo? Come viene installato e utilizzato nelle apparecchiature di sputtering?
A3: Il fluoruro di calcio è un materiale isolante e non conduce elettricità. Pertanto, nello sputtering con magnetrone è necessario utilizzare un alimentatore RF e la piastra di supporto deve essere saldamente fissata per garantire un raffreddamento efficace. Durante l’installazione, assicurarsi che la superficie di contatto tra il target e la base dell’apparecchiatura sia pulita e piana per garantire un trasferimento di calore efficiente.

D4: Di che colore sono in genere i film depositati utilizzando questo target?
A4: I film di fluoruro di calcio di alta qualità sono quasi completamente trasparenti nello spettro visibile e non presentano alcun colore distinguibile. Se il film appare di colore giallo pallido o presenta altre sfumature, ciò può indicare deviazioni nella stechiometria o contaminazione, rendendo necessaria l’ottimizzazione dei parametri di processo.

Rapporto

Ogni lotto viene fornito con:
Certificato di analisi (COA)

Scheda tecnica (TDS)

Scheda di sicurezza (MSDS)
Rapporto di ispezione delle dimensioni
Rapporti di test di terze parti disponibili su richiesta

Perché scegliere noi?

Siamo specializzati nella ricerca e sviluppo e nella produzione di rivestimenti ottici
avanzati e target ceramici per semiconduttori
, con una profonda esperienza nelle sfide e nei requisiti di processo per la produzione di materiali fluorurati ad alta purezza. Grazie alle nostre tecnologie proprietarie di purificazione e sinterizzazione a caldo, otteniamo un eccezionale equilibrio tra purezza, densità e microstruttura nei nostri target.