Les cibles de pulvérisation
en oxyde d’aluminium et de strontium
sont des cibles en oxyde multi-éléments structurellement stables et uniformément déposées, adaptées à la fabrication de films minces fonctionnels, de revêtements optiques et de matériaux électroniques.
Nous proposons des cibles de pulvérisation en oxyde d’aluminium et de strontium de différentes puretés, densités, tailles et types de structure. Nous pouvons également aider nos clients à confirmer leurs exigences en matière de formation de films, à sélectionner les types de cibles appropriés et leur fournir des conseils sur l’expédition, l’emballage, le nettoyage et le débogage des applications. N’hésitez pas à nous contacter
à tout moment pour obtenir un devis.
Moulage par compression à haute densité
Bonne uniformité du film
Densité ionique stable
Faible teneur en impuretés
Convient à divers systèmes de pulvérisation
Adaptable à la taille de l’équipement
Prend en charge le collage des cibles
Haute résistance mécanique, moins sujet à la fissuration
Adhérence stable du film
Utilisées dans la préparation de revêtements optiques pour améliorer la stabilité du film et la transmission de la lumière.
Appliquées à des films minces en céramique fonctionnelle pour le renforcement structurel et la modification des matériaux.
Utilisées comme source de matériau cible pour les films minces en oxyde composite dans la fabrication de composants électroniques.
Convient aux applications de recherche dans la préparation de films minces d’oxyde à plusieurs composants présentant des propriétés spéciales.
Q1 : La cible de pulvérisation en oxyde d’aluminium et de strontium présente-t-elle une ablation irrégulière des bords ?
A1 : La cible est fabriquée à l’aide d’un processus à haute densité, qui réduit les différences d’usure des bords. Cependant, les paramètres du processus doivent encore être ajustés en fonction de la puissance de l’équipement et de la distribution du champ magnétique afin d’obtenir un état de pulvérisation plus uniforme.
Q2 : La cible nécessite-t-elle un traitement antichoc pendant le transport ?
R2 : Oui, nous utilisons une structure de protection à double couche composée d’un rembourrage en mousse et d’un emballage sous vide afin de garantir que la cible ne se fissure pas et ne s’écaille pas pendant le transport sur de longues distances.
Q3 : Quels sont les principaux facteurs qui influent sur la durée de vie de la cible ?
R3 : Les réglages de puissance, l’environnement sous vide, l’effet de refroidissement et l’épaisseur de la cible ont tous une incidence sur la durée de vie. Une taille de cible plus appropriée peut être sélectionnée en fonction de la conception du processus.
Q4 : Cette cible peut-elle être utilisée pour la pulvérisation cathodique pulsée à courant continu ou à radiofréquence ?
A4 : Oui, ce matériau convient à diverses méthodes de pulvérisation cathodique. Nous pouvons fournir des structures de cibles et des dimensions d’installation correspondantes en fonction du type d’équipement.
Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)
Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapports d’essais par des tiers disponibles sur demande
Nous disposons de capacités de contrôle de processus stables dans la production de cibles d’oxydes multi-éléments, garantissant un haut degré de cohérence dans la densité, l’uniformité structurelle et les performances de dépôt de couches minces de nos cibles d’oxyde d’aluminium et de strontium. Grâce à une assistance flexible en matière de personnalisation, à des tests de qualité rigoureux, à des méthodes d’emballage professionnelles et à une logistique internationale stable, nous pouvons fournir des solutions d’approvisionnement en cibles fiables et cohérentes aux clients du secteur de la recherche et de l’industrie, les aidant ainsi à obtenir des résultats de meilleure qualité en matière de couches minces.
Formule chimique : SrAl₂O₄
Poids moléculaire : 183.95 g/mol
Aspect : Cible de pulvérisation céramique blanche à vert clair
Densité : ~3,56 g/cm³
Point de fusion : ~1 930 °C (environ)
Structure cristalline : Monoclinique (phase β) ou hexagonale (phase α)
Emballage intérieur : sacs sous vide et boîtes afin d’éviter toute contamination et humidité.
Emballage extérieur : cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
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