Fluorure de calcium

Cibles de pulvérisation en fluorure de calcium – Présentation

Les cibles de pulvérisation
en fluorure de calcium
sont des cibles céramiques de haute pureté et haute densité utilisées dans la technologie de dépôt physique en phase vapeur (PVD). Principalement utilisées pour déposer des films de fluorure de calcium aux propriétés optiques et chimiques exceptionnelles sur des substrats, elles constituent un matériau de base essentiel pour la fabrication de composants optiques
ultraviolets, de couches fonctionnelles semi-conductrices
et de revêtements spéciaux.

Nous sommes spécialisés dans la fourniture de cibles de pulvérisation en fluorure de calcium allant des grades de haute pureté aux grades d’ultra-haute pureté. Nous proposons des services de personnalisation
dans différentes tailles et formes, ainsi que des services de collage
de plaques de support métalliques à haute résistance. Pour des solutions personnalisées ou des paramètres de performance, veuillez contacter
immédiatement notre équipe technique.

Points forts du produit

Ultra-haute pureté
Densité et homogénéité microstructurale exceptionnelles
Absorption extrêmement faible des rayons UV
Usinage de précision avec une finition de surface élevée
Excellente résistance aux chocs thermiques et stabilité de pulvérisation

Applications des cibles de pulvérisation en fluorure de calcium

Revêtements optiques haute performance :
utilisés pour préparer des revêtements antireflets, des films protecteurs et des revêtements à haute réflectivité dans le spectre ultraviolet à infrarouge. Largement utilisés dans les composants optiques pour les systèmes laser à haute énergie, les instruments d’observation astronomique et les équipements de lithographie avancés.

Semi-conducteurs et microélectronique :
sert de matériau de couche isolante ou de passivation dans certains processus spécifiques liés aux semi-conducteurs. Ses films minces présentent d’excellentes propriétés diélectriques et une grande stabilité chimique, ce qui améliore la fiabilité des appareils.

Composants laser et fenêtres :
utilisé pour le dépôt direct de films de fluorure de calcium ou la fabrication de structures multicouches afin de produire des fenêtres laser, des lentilles et des dispositifs optiques non linéaires à seuil de dommage élevé.

Recherche et revêtements fonctionnels spécialisés :
sert de matériau cible fondamental pour l’exploration et le développement de domaines de pointe tels que les nouveaux matériaux à faible indice de réfraction, les revêtements ultra-durs et les revêtements résistants aux rayonnements.

FAQ

Q1 : Dans quelle mesure la pureté de la cible affecte-t-elle les performances du film déposé final ?
A1 : La pureté est l’un des facteurs décisifs. Une teneur excessive en impuretés métalliques et en oxygène peut augmenter considérablement les pertes par absorption dans la bande ultraviolette et introduire des défauts, affectant le seuil de dommage laser et la stabilité à long terme du film.

Q2 : Pourquoi la cible en fluorure de calcium nécessite-t-elle parfois une pulvérisation réactive pendant le processus ?
R2 : Afin de contrôler avec précision le rapport stœchiométrique du film (rapport calcium/fluor) et de compenser la perte potentielle de fluor, une petite quantité de gaz réactif contenant du fluor (par exemple, CF₄) est généralement introduite dans le gaz de pulvérisation (par exemple, l’argon) afin d’obtenir des films de fluorure de calcium présentant des propriétés optiques optimales.

Q3 : Ce matériau cible est-il conducteur ? Comment est-il installé et utilisé dans les équipements de pulvérisation ?
R3 : Le fluorure de calcium est un matériau isolant qui ne conduit pas l’électricité. Par conséquent, une alimentation RF doit être utilisée dans la pulvérisation magnétron, et la plaque de support doit être solidement fixée pour assurer un refroidissement efficace. Lors de l’installation, veillez à ce que la surface de contact entre la cible et la base de l’équipement soit propre et plane afin de garantir un transfert de chaleur efficace.

Q4 : Quelle est la couleur habituelle des films déposés à l’aide de cette cible ?
R4 : Les films de fluorure de calcium de haute qualité sont presque entièrement transparents dans le spectre visible et ne présentent aucune couleur discernable. Si le film apparaît jaune pâle ou présente d’autres teintes, cela peut indiquer des écarts dans la stœchiométrie ou une contamination, ce qui nécessite une optimisation des paramètres du processus.

Rapport

Chaque lot est fourni avec :
Certificat d’analyse (COA)

Fiche technique (TDS)

Fiche de données de sécurité (MSDS)
Rapport d’inspection des dimensions
Rapports d’essais effectués par des tiers disponibles sur demande

Pourquoi nous choisir ?

Nous sommes spécialisés dans la R&D et la fabrication de revêtements optiques
avancés et de cibles céramiques pour semi-conducteurs
, et possédons une expertise approfondie des défis et des exigences de processus liés à la production de matériaux fluorés de haute pureté. Grâce à nos technologies exclusives de purification et de frittage à chaud, nous obtenons un équilibre exceptionnel entre pureté, densité et microstructure dans nos cibles.