| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 741400ST001 | WSi2 | 99.5% | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 741400ST002 | WSi2 | 99.5% | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 741400ST003 | WSi2 | 99.5% | Ø 76.2 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 741400ST004 | WSi2 | 99.5% | Ø 101.6 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 741400ST005 | WSi2 | 99.5% | Ø 101.6 mm x 6.35 mm | Inquire |
La cible de pulvérisation au siliciure de tungstène est un matériau composite conçu pour les applications de dépôt de couches minces à haute performance. Elle combine le point de fusion élevé du tungstène et la stabilité chimique du silicium, présente une excellente stabilité thermique, une capacité de contrôle de la résistivité et une bonne uniformité du film. Elle convient parfaitement aux dispositifs microélectroniques, aux films résistifs et aux films de protection durs.
Nous pouvons fournir des cibles de pulvérisation de siliciure de tungstène de différentes tailles et formes, y compris rondes, rectangulaires et diverses structures composites, et proposer des services personnalisés pour répondre aux diverses exigences des processus PVD. Si vous avez des questions pendant l’utilisation, n’hésitez pas à nous contacter, nous vous fournirons une assistance technique complète une assistance technique et un service après-vente.
Pureté : 99,5
La structure dense garantit un processus de pulvérisation stable et un film uniforme
Dureté élevée et forte résistance à la corrosion, adaptées aux environnements difficiles
Taille, forme, position du trou ou conception du fond de panier taille, forme, position des trous ou conception du fond de panier selon les besoins du client
Bon contrôle de la résistivité, adapté aux résistances en couches minces et aux couches barrières
Dispositifs microélectroniques : En tant que couche barrière ou matériau intercalaire pour empêcher la diffusion du métal et améliorer la fiabilité du dispositif
Résistances à couche mince : Utilisées pour les films de résistance de précision avec une résistivité stable et un bon coefficient de température
Revêtement dur : Protection contre l’usure et la corrosion pour les surfaces telles que les outils et les moules
MEMS/capteurs : Utilisés comme films fonctionnels pour améliorer les performances et la durée de vie des appareils
Nous fournissons Fiche de données de sécurité (MSDS)un certificat d’analyse (COA) et les rapports d’essai correspondants pour chaque lot de cibles de pulvérisation WSi₂, et nous répondons aux exigences des clients en matière d’essais par des tiers afin de garantir que les produits répondent aux normes de qualité et de sécurité.
Formule moléculaire : WSi₂
Poids moléculaire : 240,01 g/mol
Aspect : Cible céramique à l’éclat métallique gris-noir, surface dense et plate.
Densité : environ 9,3 g/cm³ (proche de la densité théorique)
Point de fusion : environ 2 160 °C
Structure cristalline : système tétragonal
Emballage intérieur : Sacs scellés sous vide et emballage pour éviter la contamination et l’humidité.
Emballage extérieur : Cartons ou caisses en bois sélectionnés en fonction de la taille et du poids.
Si vous avez besoin d'un service, veuillez nous contacter
