La principal ventaja del exclusivo diseño cilíndrico del cátodo rotatorio es la utilización uniforme de la superficie del cátodo mediante rotación física. Este diseño no sólo optimiza el consumo de material durante el sputtering, sino que también garantiza una distribución uniforme del material depositado mediante la rotación continua. El mecanismo de rotación del cilindro permite que el haz de pulverización catódica forme una trayectoria de erosión más uniforme en la superficie del cátodo, lo que mejora en gran medida la utilización del cátodo y garantiza una alta eficiencia y consistencia en el proceso de deposición de película fina.
Nuestra cartera de cátodos rotativos
Ofrecemos una amplia gama de cátodos rota tivos para satisfacer una gran variedad de necesidades industriales.
| Cátodos rotativos metálicos | Cátodos rotativos de aleación | Cátodos rotativos cerámicos |
| Aluminio (Al) | Níquel Cromo (NiCr) | Óxido de niobio (Nb2O5) |
| Titanio (Ti) | Titanio de wolframio (WTi) | Carburo de silicio (SiC) |
| Cobre (Cu) | Zinc Estaño (ZnSn) | Óxido de indio y estaño (ITO) |
| Molibdeno (Mo) | Níquel Hierro (NiFe) | Óxido de zinc dopado con aluminio (AZO) |
| Tungsteno (W) | Silicio Aluminio (SiAl) | Óxido de zinc dopado con galio (GZO) |
| Silicio (Si) | Silicio Aluminio Circonio (SiAlZr) | Óxido de indio y estaño (ITO) |
Además, ofrecemos cátodos rotativos compuestos y especiales, materiales diseñados para las industrias de semiconductores, fotovoltaica y óptica.
Cátodos rotativos frente a cátodos planos
Utilización de los cátodos: Los cátodos rotativos, gracias a su mecanismo de rotación único, pueden aumentar significativamente la utilización del cátodo hasta más del 70%-80%. Los cátodos planos normalmente sólo alcanzan un 40%-50% de utilización del material.
Eficacia de la deposición de la película: Los cátodos planos funcionan bien en la deposición de áreas pequeñas o formas específicas de películas para cumplir requisitos de rendimiento específicos. Los cátodos rotativos presentan ventajas significativas en la deposición uniforme de películas sobre grandes áreas. Esto no sólo mejora la eficacia de la deposición, sino que también garantiza la uniformidad y consistencia de la película, lo que es fundamental para mejorar la calidad del producto.
Rentabilidad: El menor coste inicial de los cátodos planares los hace ideales para aplicaciones con presupuestos limitados o en las que la uniformidad de la película no es crítica. Los cátodos rotativos, a pesar de los mayores costes iniciales de inversión y mantenimiento, pueden ahorrar a los usuarios más en costes de material y mejorar la productividad a largo plazo debido a su alta utilización de material y eficiencia de deposición.
¿Cuál es la aplicación de Rotary Target?
Con una metalurgia avanzada, un estricto control de calidad e ingeniería a medida, nuestros cátodos rotativos optimizan la eficacia de su proceso de sputtering y la calidad de sus películas, permitiéndole realizar la próxima generación de revestimientos y aplicaciones de película fina.
