| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 741400ST001 | WSi2 | 99.5% | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 741400ST002 | WSi2 | 99.5% | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 741400ST003 | WSi2 | 99.5% | Ø 76.2 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 741400ST004 | WSi2 | 99.5% | Ø 101.6 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 741400ST005 | WSi2 | 99.5% | Ø 101.6 mm x 6.35 mm | Inquire |
Wolfram-Silicid sputtertarget ist ein Verbundtargetmaterial, das für Hochleistungsanwendungen zur Dünnschichtabscheidung entwickelt wurde. Es kombiniert den hohen Schmelzpunkt von Wolfram mit der chemischen Stabilität von Silizium, verfügt über eine ausgezeichnete thermische Stabilität, die Fähigkeit zur Kontrolle des spezifischen Widerstands und eine gute Schichtgleichmäßigkeit und eignet sich sehr gut für mikroelektronische Geräte, Widerstandsschichten und harte Schutzschichten.
Wir können Wolframsilizid-Sputter-Targets in verschiedenen Größen und Formen anbieten, einschließlich runder, rechteckiger und verschiedener Verbundstrukturen, und unterstützen kundenspezifische Dienstleistungen, um die verschiedenen Anforderungen an PVD-Prozesse zu erfüllen. Wenn Sie während der Anwendung Fragen haben, können Sie sich gerne an uns wenden, wir bieten umfassende technische Unterstützung und kundendienst.
Reinheit: 99,5%
Die dichte Struktur gewährleistet einen stabilen Sputterprozess und einen gleichmäßigen Film
Hohe Härte und starke Korrosionsbeständigkeit, geeignet für raue Umgebungen
Kundenspezifisch größe, Form, Lochposition oder Backplane-Design entsprechend den Kundenanforderungen
Gute Widerstandskontrolle, geeignet für Dünnschichtwiderstände und Sperrschichten
Mikroelektronische Geräte: Als Barriereschicht oder Zwischenschichtmaterial, um Metalldiffusion zu verhindern und die Zuverlässigkeit der Geräte zu verbessern
Dünnschicht-Widerstände: Zur Herstellung von Präzisionswiderstandsschichten mit stabilem Widerstand und gutem Temperaturkoeffizienten
Harte Beschichtung: Bietet Verschleiß- und Korrosionsschutz für Oberflächen wie Werkzeuge und Gussformen
MEMS/Sensoren: Als Funktionsschichten zur Verbesserung der Leistung und Lebensdauer von Geräten
Wir bieten Material-Sicherheitsdatenblatt (MSDS), Analysezertifikate (COA) und zugehörige Prüfberichte für jede Charge von WSi₂-Sputter-Targets und unterstützen die vom Kunden festgelegten Prüfanforderungen Dritter, um sicherzustellen, dass die Produkte den Qualitäts- und Sicherheitsstandards entsprechen.
Molekulare Formel: WSi₂
Molekulargewicht: 240.01 g/mol
Äußeres Erscheinungsbild: Grau-schwarzer, metallisch glänzender Keramik-Target, dichte und flache Oberfläche
Dichte: etwa 9,3 g/cm³ (nahe der theoretischen Dichte)
Schmelzpunkt: ca. 2.160 °C
Kristallstruktur: tetragonales System
Innere Verpackung: Vakuumversiegelte Beutel und Kisten zum Schutz vor Verunreinigungen und Feuchtigkeit.
Äußere Verpackung: Kartons oder Holzkisten, die je nach Größe und Gewicht ausgewählt werden.
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