Aluminium-Eisen Legierungs-Sputtertargets sind spezielle Legierungsmaterialien, die für Dünnschichtanwendungen entwickelt wurden, die eine verbesserte Härte, thermische Stabilität und mechanische Festigkeit erfordern. Mit hohen Reinheitsgraden (≥99,5%) und anpassbaren Al/Fe-Verhältnissen eignen sich diese Targets für den Einsatz in Halbleitern, Schutzbeschichtungen, magnetischen Materialien und fortschrittlichen Forschungsanwendungen.
Durch die Kombination der leichten, leitfähigen Eigenschaften von Aluminium mit der Festigkeit und den ferromagnetischen Eigenschaften von Eisen bieten AlFe-Targets eine robuste Leistung in PVD-Systemen (Physical Vapor Deposition). Sie ermöglichen die Bildung harter, gleichmäßiger und haftender dünner Schichten mit maßgeschneiderten elektrischen, thermischen und magnetischen Eigenschaften.
Reinheit: ≥99,5%
Erhältlich in Standard- und kundenspezifischen Al/Fe-Verhältnissen (z. B. Al-1Fe, Al-40Fe)
Hohe Dichte und geringe Porosität für gleichmäßiges Sputtern
Ausgezeichnete thermische und mechanische Stabilität
Ferromagnetisches Verhalten durch Fe-Gehalt möglich
Kundenspezifische Formen und Bindungen möglich
Halbleiter: Für Pufferschichten oder Sperrschichten, die mechanisch beständig sein müssen
Magnetische Beschichtungen: Für magnetische Sensoren und Aufzeichnungsanwendungen
Harte Schutzbeschichtungen: Verbessert die Oberflächenhärte und Oxidationsbeständigkeit
Dünnschicht-Metallurgie: Geeignet für die Herstellung multifunktionaler Metallschichten in MEMS und IC-Gehäusen
F&E-Materialwissenschaft: Einsatz in der Legierungsfilmforschung und der Entwicklung magnetischer Materialien
Jede Lieferung von AlFe-Sputter-Targets umfasst:
Zertifikat der Analyse (COA)
Material-Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Bericht über Oberflächenqualität und Maßkontrolle (auf Anfrage)
Unterstützung bei der Prüfung durch Dritte auf Anfrage
Chemische Formel: AlFe
Erscheinungsbild: Metallisch grau
Dichte: ~2,9-3,5 g/cm³ (abhängig von der Zusammensetzung)
Schmelzpunkt: 650-1200 °C (je nach Zusammensetzung)
Wärmeleitfähigkeit: Mäßig bis hoch (~150-210 W/m-K)
Elektrische Leitfähigkeit: Mäßig (~1,8-3,5 × 10⁷ S/m)
Magnetische Eigenschaften: Ferromagnetisch (Fe-reiche Zusammensetzungen)
Nicht als gefährlich eingestuft
Innere Verpackung: Vakuumversiegelter Beutel zum Schutz vor Verunreinigungen und Feuchtigkeit.
Äußere Verpackung: Karton oder Holzkiste, je nach Größe und Gewicht.
Zerbrechliche Ziele: Für einen sicheren Transport wird eine spezielle Schutzverpackung verwendet.
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