Titansuboxyd

Übersicht über rotierende Titanoxid-Rotationsziele

Rotierende
Titanoxid
-Rotationsziele sind röhrenförmige Keramik-Sputterziele,
die
speziell für eine kontinuierliche, hocheffiziente Beschichtung entwickelt wurden. Ihre Drehbewegung sorgt für eine gleichmäßige Ätzung der Zieloberfläche. Mit ihren hohen Auslastungsraten, hohen Abscheidungsraten und ihrer langen Lebensdauer eignen sie sich besonders für die großflächige, kontinuierliche industrielle Produktion in großem Maßstab.

Wir bieten TiOx-Rotationsziele in verschiedenen Spezifikationen an, die die Verklebung mit
Metall- oder Verbundstoff-Trägerrohren unterstützen. Umfassender technischer Support
für Installation und Wartung ist verfügbar, um Ihren Produktionsanforderungen gerecht zu werden.

Produkt-Highlights

Ultrahohe Materialausnutzungsrate (>80 %)
Kontinuierliche Stabilität mit hohen Abscheidungsraten
Reduzierte Sputterknötchen und ausgezeichnete Filmgleichmäßigkeit
Anpassbare Nicht-Standard-Längen
Integrierte Verbindungstechnologie

Anwendungen von Titan-Suboxid-Rotationszielen

Großflächige Beschichtung von Architekturglas:
In kontinuierlichen Produktionslinien für energieeffizientes Architekturglas ermöglichen TiOx-Rotationsziele eine effiziente, gleichmäßige großflächige Beschichtung, wodurch der Durchsatz und die Filmkonsistenz erheblich gesteigert werden.
Flexible Roll-to-Roll-Beschichtung:
Ideal für kontinuierliche Roll-to-Roll-Beschichtungsprozesse auf flexiblen Substraten (z. B. PET-, PI-Folien) und bietet hocheffiziente Produktionslösungen für die Branchen flexible Displays, flexible PV und Verpackungen.
Großflächige Displaypanels:
Werden für die Vorbereitung von Elektroden oder Funktionsschichten in großen Displaypanels wie TFT-LCD und OLED verwendet und erfüllen die strengen Anforderungen an die Gleichmäßigkeit großer Flächen und die Produktionszykluszeiten in Hochleistungslinien.
Kontinuierliche optische Beschichtung:
Gewährleistet langfristige Stabilität und Wiederholbarkeit der optischen Schichtdicke und Leistung bei der kontinuierlichen Produktion von optischen Filtern, Antireflexglas und ähnlichen Produkten.

Häufig gestellte Fragen

F1: Was sind die Hauptvorteile von Rotationszielen gegenüber planaren Zielen?
A1: Die Hauptvorteile liegen in der Materialausnutzung (typischerweise über 80 % bei Rotationszielen gegenüber nur etwa 30 % bei planaren Zielen) und der kontinuierlichen Betriebslebensdauer. Das Rotationsdesign ermöglicht größere, gleichmäßigere Ätzflächen, wodurch die Häufigkeit des Zielwechsels und die Gesamtproduktionskosten erheblich reduziert werden.

F2: Was sind die typischen Längen- und Wandstärkenbereiche für TiOx-Rotationsziele?
A2: Wir passen die Längen an die Kathodenspezifikationen der Kundenanlagen an, die in der Regel zwischen 1 und 6 Metern liegen. Die Wandstärke liegt in der Regel zwischen 5 mm und 20 mm, abhängig vom Zieldurchmesser, der Verbindungsmethode und der vorgesehenen Lebensdauer.

F3: Wie gewährleisten Sie die strukturelle Zuverlässigkeit und Kühlleistung bei Hochgeschwindigkeitsbetrieb?
A3: Wir verwenden hochfeste Trägerrohrmaterialien und optimierte Verbindungsverfahren, um eine robuste Haftung zwischen dem Target und dem Trägerrohr unter thermischer Belastung zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht das präzise Wasserkanaldesign im Trägerrohr eine effiziente und gleichmäßige Kühlung und sorgt so für einen langfristig stabilen Targetbetrieb.

F4: Bietet Ihr Unternehmen integrierte Verbindungsdienstleistungen für rotierende Targets an?
A4: Ja. Wir bieten einen Komplettservice von der Herstellung des Keramikzielrohrs bis hin zum integrierten Schweißen und Verbinden mit dem Trägerrohr. Wir führen strenge Qualitätskontrollen (z. B. Ultraschallprüfungen) an der Verbindungsstelle durch, um sicherzustellen, dass Wärmeleitfähigkeit, Festigkeit und Sicherheit den Produktionsanforderungen entsprechen.

Bericht

Jede Charge wird geliefert mit:
Analysezertifikat (COA)

Technisches Datenblatt (TDS)

Sicherheitsdatenblatt (MSDS)
Größenprüfbericht
Prüfberichte von Drittanbietern sind auf Anfrage erhältlich.

Warum sollten Sie sich für uns entscheiden?

Wir liefern nicht nur hochleistungsfähige TiOx-Keramikziele, sondern wissen auch, dass der Kern rotierender Zielsysteme in der Zuverlässigkeit und Produktionseffizienz liegt. Unsere ausgereifte integrierte Fertigungs- und Verbindungstechnologie gewährleistet, dass jedes Ziel eine außergewöhnliche strukturelle Integrität und Kühlleistung aufweist.