이산화 티타늄
스퍼터링 타겟은 금속 티타늄과 고가치 이산화 티타늄 사이의 중간 물리적·전기적 특성을 지닌 세라믹 타겟입니다. 특정 전도도, 광흡수, 구조 제어 요구사항을 가진 기능성 박막 제조에 적합합니다. 이 소재는 티타늄 산화 상태의 정밀 제어가 필요한 박막 증착 공정에 널리 사용되며, 특히 PVD 마그네트론 스퍼터링 응용 분야에 적합합니다.
고객의 스퍼터링 시스템 및 공정 요구사항에 따라 다양한 사양과 구조의 이산화티타늄 스퍼터링 타겟을 제공하며, 맞춤형 가공 서비스를 지원합니다. 구체적인 장비 파라미터 또는 적용 시나리오 확인을 위해 문의
바랍니다.
하위 티타늄 산화물 조성, 산화 상태 제어 가능
– 마그네트론 스퍼터링 등 PVD 공정 적합
– 균일한 조성, 안정적인 스퍼터링 공정
– 박막 성능 정밀 제어 용이
과학 연구 및 산업 응용 요구 충족
기능성 박막 제조:
특정 전도도 및 광학적 반응을 가진 이산화 티타늄 박막 제조에 사용 가능, 기능층 또는 전이층에 적합
전자 및 마이크로전자 소자:
전자 소자 분야에서 TiO₂ 박막은 구조 제어 또는 성능 최적화 관련 연구에 활용 가능
광전자 및 광학 연구:
이산화티타늄 박막은 광 흡수 및 박막 구조 조정 측면에서 연구 가치가 있으며, 광전자 소재 탐색적 응용에 적합
Q1: 이산화티타늄 스퍼터링 타겟과 TiO₂ 타겟의 주요 차이점은 무엇인가요?
A1: TiO₂는 하위 이산화 티타늄에 속하며, 산화 상태가 TiO₂보다 낮아 전기적·광학적 특성에 상당한 차이가 있습니다. 박막 성능의 미세 조정이 필요한 응용 분야에 더 적합합니다.
Q2: 이산화 티타늄 스퍼터링 타겟은 DC 스퍼터링이나 RF 스퍼터링에 적합한가요?
A2: RF 마그네트론 스퍼터링 시스템에서 사용 가능합니다. 구체적인 공정 방법은 장비 구성과 공정 파라미터를 종합적으로 고려하여 결정해야 합니다.
Q3: TiO₂ 타겟 사용 시 박막 조성 변화가 발생하기 쉬운가요?
A3: 안정적인 스퍼터링 출력과 대기 조건 하에서 고밀도 타겟은 우수한 조성 일관성을 유지할 수 있어 재현성이 좋은 박막 결과를 얻는 데 도움이 됩니다.
Q4: 이산화 티타늄 스퍼터링 타겟 보관 및 운송 시 주의사항은 무엇인가요?
A4: 사용 전 타겟이 안정된 물리적 상태를 유지하도록 밀폐 용기에 담아 건조하고 청결한 환경에서 보관하며, 습기나 오염을 피할 것을 권장합니다.
각 배치별 제공 항목:
분석 증명서(COA)
물질안전보건자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공
저희는 기능성 세라믹 및 금속 스퍼터링 타겟 공급을 전문으로 하며, 성숙한 재료 관리 및 가공 경험을 보유하고 있어 연구 및 산업 고객에게 안정적이고 추적 가능한 이산화 티타늄 스퍼터링 타겟 솔루션을 제공할 수 있습니다.
분자 공식: TiO₂
외관: 검은색 대상 물질
밀도: 약 4.0g/cm³
융점: 약 1830°C
결정 구조: 큐빅
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
