인듐 주석 산화물 로터리 타겟(ITO)은 주로 산화 인듐(In2O3)과 산화 주석(SnO2)으로 구성된 고성능 투명 전도성 산화물 타겟입니다. 열간 등압 프레스(HIP) 또는 소결 공정을 사용하여 고밀도 원통형 타겟으로 제조한 다음 티타늄 또는 스테인리스 스틸 튜브와 결합하여 회전 구조를 형성합니다. ITO 박막은 평판 디스플레이(LCD, OLED), 터치스크린, 에너지 절약형 로이 건축용 유리, 박막 태양전지 및 광전자 장치에 널리 사용되며 현대 광전자 산업에서 가장 중요한 투명 전도성 필름 재료 중 하나입니다.
당사의 ITO 로터리 타겟은 높은 활용률, 우수한 스퍼터링 안정성, 우수한 필름 균일성 등의 장점을 가지고 있습니다. 전기 전도성과 광 투과율이 뛰어나 현대 광전자 산업에서 가장 중요한 투명 전도성 필름입니다. 우리는 포괄적인 애프터 서비스를 제공합니다. 제발 문의하세요 로 문의하세요.
고성능 투명 전도성 소재
뛰어난 타겟 활용도
안정적인 스퍼터링 및 균일한 필름 증착
우수한 필름 성능
광범위한 응용 분야
포괄적인 본딩 서비스
맞춤형 솔루션
디스플레이 및 터치 기술: LCD, OLED 및 터치 패널 제조에 투명 전도성 전극으로 사용되어 뛰어난 전기 전도성과 광 투과율을 제공합니다.
태양광 장치:CIGS, CdTe, 페로브스카이트형 등 박막 태양전지의 투명 전극층으로 사용되어 빛 투과 및 변환 효율을 향상시킵니다.
광전자 및 연구 애플리케이션: 광 검출기, 전기 변색 장치, 고급 투명 전도성 필름 개발을 위한 R&D 코팅 시스템에 활용됩니다.
업계에서 다년간 쌓아온 전문성
고순도, 고품질 소재 가공 경험
종합적인 본딩 솔루션
안정적인 박막 성능
전문적인 커스터마이징 기능
글로벌 서비스 및 지원
Q1: ITO 로터리 타겟의 구성은 어떻게 되나요?
A1: ITO 타겟은 산화 인듐(In₂O₃)과 산화 주석(SnO₂)으로 구성되며 일반적으로 90:10의 중량 비율을 갖습니다.
Q2: 어떤 백킹 튜브 재료와 본딩 방법을 사용할 수 있나요?
A2: 티타늄 및 스테인리스 스틸 튜브를 사용할 수 있습니다. 본딩 옵션에는 우수한 기계적 및 열적 성능을 위한 폭발 본딩, 확산 본딩 및 HIP 본딩이 포함됩니다.
Q3: ITO 타겟에 권장되는 스퍼터링 조건은 무엇인가요?
A3: 일반적인 증착은 전도도와 투명도의 균형을 맞추기 위해 산소 분압이 제어된 DC 또는 중주파 마그네트론 스퍼터링을 사용합니다.
Q4: 로터리 타겟의 예상 수명 또는 사용률은 얼마입니까?
A4: 회전식 타겟은 시스템 설계에 따라 75~90%의 활용률을 달성할 수 있으며, 이는 평면 타겟(30~40%)보다 훨씬 높은 수치입니다.
Q5: 특정 스퍼터링 시스템에 맞게 타겟을 맞춤화할 수 있나요?
A5: 예. 고객의 장비 및 공정 요구 사항에 따라 치수, 구성, 튜브 재료 및 본딩 유형을 모두 맞춤화할 수 있습니다.
각 제품 배치에는 다음이 함께 제공됩니다:
분석 인증서(COA)
기술 데이터 시트(TDS)
물질안전보건자료(MSDS)
산업 및 연구 표준을 충족하기 위해 요청 시 타사 테스트 보고서를 이용할 수 있습니다.
분자식: In₂O₃-SnO₂
외관: 회백색 또는 은회색, 조밀한 회전 타겟
녹는점: ~1900°C
끓는점: ~2000°C
결정 구조: 입방체(주상: In₂O₃)
내부 포장: 오염과 습기를 방지하기 위해 진공 밀봉된 백 및 박스 포장.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 선택된 상자 또는 나무 상자.
