셀레늄 금속
스퍼터링 타겟은 고순도 셀레늄 원료를 분말 야금 또는 용융 주조와 같은 정밀 공정을 통해 제조된 고체 원반 또는 직사각형 판입니다. 물리적 기상 증착(PVD) 공정에 사용됩니다. 제어된 진공 조건 하에서 이온 충격을 통해 표면 원자가 스퍼터링되어 기판에 균일하고 치밀한 셀레늄 박막 또는 셀레나이드 박막 전구체를 증착시킵니다.
당사는 다양한 사양(직경, 두께)의 고순도 셀레늄 금속 스퍼터링 타겟을 제공하며, 고객 장비 요구사항에 맞춘 본딩 서비스를 제공합니다. 맞춤 문의 또는 코팅 테스트 요청은 전화로 문의해
주십시오.
초고순도
고밀도 및 낮은 다공성
우수한 미세구조 균일성
정밀한 치수 및 공차 제어
백킹 플레이트 본딩 서비스 제공
구리 인듐 갈륨 셀레나이드(CIGS) 박막 태양전지: 셀레늄 원료로 사용되며, 구리, 인듐, 갈륨과 함께 공동 스퍼터링되거나 후처리 셀레나이드화되어 고효율 광전지 흡수층을 형성합니다.
광검출기 및 센서: 가시광선 및 적외선에 민감한 광전자 소자 제조를 위해 셀레늄 또는 셀레나이드 박막 증착에 사용됩니다.
상변화 저장 재료: 비휘발성 메모리 제조 시 셀레늄 기반 상변화 재료 박막의 원료 타겟으로 사용됩니다.
장식 및 기능성 코팅: 특정 기판에 특수 색상 또는 기능성을 지닌 셀레늄 기반 박막을 증착합니다.
Q1: 셀레늄 타겟 순도는 어떻게 선택해야 하나요? 순도가 높을수록 항상 좋은가요?
A1: 순도 선택은 필름의 성능 요구사항에 따라 달라집니다. 연구용 및 고급 광전자 소자(예: CIGS 셀)의 경우, 전기적 특성에 대한 불순물 영향을 최소화하기 위해 일반적으로 99.999%(5N) 이상의 순도가 필요합니다. 일부 요구사항이 낮은 기능성 코팅의 경우 99.99%(4N)로도 충분할 수 있습니다. 당사 기술 담당자가 비용 효율적인 선택을 권장해 드립니다.
Q2: 타겟에 백킹 플레이트가 필요한 이유는 무엇인가요? 본딩 서비스도 제공하나요?
A2: 접합은 효율적인 열 방출과 안전한 장착을 보장합니다. 셀레늄은 취성이 있으며 열전도율이 중간 수준입니다. 금속 솔더를 통해 구리 또는 알루미늄 냉각판에 접합하면 스퍼터링 중 열적 안정성과 기계적 무결성을 보장합니다. 당사는 전문 접합
서비스를 제공하며, 고객의 스퍼터링 챔버 설계에 맞춤화된 즉시 설치 가능한 접합 타겟 어셈블리를 납품할 수 있습니다.
Q3: 셀레늄 타겟으로 스퍼터링할 때 고려해야 할 특별한 공정 사항은 무엇인가요?
A3: 두 가지 핵심 사항이 있습니다. 첫째, 전력 제어입니다. 셀레늄은 낮은 녹는점(약 221°C)을 가지므로, 타겟 과열 및 용융을 방지하기 위해 중저전력(DC 또는 RF) 스퍼터링이 필요합니다. 둘째, 공정 분위기입니다. 일반적으로 아르곤 가스에서 수행되며, 셀레나이드 생산을 위한 반응성 스퍼터링의 경우 황화수소와 같은 적절한 양의 반응 가스를 도입해야 합니다.
Q4: 셀레늄 스퍼터링 타겟의 품질은 어떻게 평가하고 보장합니까?
A4: 다음과 같은 다중 지표를 통해 품질을 엄격히 보장합니다: 1. 화학 조성 분석(GDMS 보고서로 순도 확인); 2. 밀도 테스트(이론 밀도의 95% 이상); 3. 금속 조직 검사(결정립 크기 및 균일성 관찰). 모든 타겟 배치에는 핵심 테스트 데이터가 동봉됩니다.
각 배치에는 다음이 함께 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질 안전 보건 자료(MSDS)
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공
특수 금속 타겟 분야의 기술 전문성을 바탕으로, 고순도 소재 및 정밀 가공부터 본딩 및 테스트에 이르는 종합 솔루션을 제공합니다. 이는 첨단 박막 기술 및 장치 개발을 위한 신뢰할 수 있는 파트너로서의 입지를 다집니다.
분자 공식: Se
분자량: 78.96
외관: 금속 광택이 있는 회색 고체 타겟
밀도: 4.81 g/cm³
녹는점: 220.5°C
끓는점: 685 °C
결정 구조: 육각형(회색 셀레늄이 가장 안정적인 형태)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
