철티타늄산화물
스퍼터링 타겟은 물리적 기상 증착(PVD) 공정에서 사용되는 핵심 세라믹 타겟입니다. 마그네트론 스퍼터링과 같은 첨단 기술을 통해 기판 위에 안정적이고 균일한 조성의 복합 산화물 박막을 증착할 수 있습니다. 이러한 박막은 반도체
, 광학
코팅, 센서, 표면 공학 등 첨단 기술 분야에서 중요한 기능적 역할을 수행합니다.
당사는 다양한 응용 시나리오와 코팅 장비에 따른 고객의 특정 요구를 충족시키기 위해 평면 타겟
및 회전 타겟을
포함한 다양한 사양의 맞춤형 고순도, 고밀도 철티타늄산화물 스퍼터링 타겟 시리즈를 전문적으로 제공합니다. 상세한 제품 사양서가 필요하시면 문의해 주십시오.
엄격하게 제어된 화학량론 비율
초고순도, 극저 불순물 함량
고밀도 및 우수한 미세구조 균일성
안정적인 스퍼터링 성능 및 박막 형성 속도
반응성 스퍼터링 및 중주파 스퍼터링 공정 지원
원자재부터 완제품까지 전 과정 품질 관리 제공
고급 광학 코팅:
타겟은 유리 등 기판에 고성능 광학 박막(반사방지막, 저방사(LOW-E)막, 태양열 제어막 등)을 증착하는 데 사용됩니다. 이는 빛의 투과율과 반사율을 효과적으로 조절하여 건축용 유리 및 광학 부품의 성능을 향상시킵니다.
반도체 및 기능성 소자:
증착된 철티타늄산화물 박막은 마이크로전자 및 센서 분야에 적용되는 반도체 소자의 유전체층 또는 감지층과 같은 특정 기능층을 제작하는 데 활용됩니다.
표면 보호 및 개질 코팅:
스퍼터링 공정을 통해 공구, 금형 또는 핵심 부품 표면에 치밀하고 경질의 산화물 보호막을 형성하여 내마모성, 내식성 및 수명을 크게 향상시킵니다.
첨단 과학 연구 및 신소재 개발:
중요한 실험 재료로서, 새로운 기능성 박막, 촉매 재료 및 에너지 재료(광전기촉매 등)의 탐구 및 연구에 활용되어 기술 혁신의 물질적 기반을 제공합니다.
Q1: 철 티타늄 산화물 타겟의 일반적인 순도 수준은 어떻게 되나요?
A1: 당사 제품의 순도는 응용 요구 사항에 따라 맞춤 제작 가능하며 최대 99.9%까지 도달합니다. 주요 불순물 원소의 함량은 반도체 또는 광학 코팅 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 극히 낮은 수준으로 제어됩니다.
Q2: 코팅 장비에 적합한 타겟 크기와 형태는 어떻게 선택하나요?
A2: 평면 타겟, 회전 타겟 등 다양한 표준 형상을 제공하며 맞춤형 크기도 제작 가능합니다. 장비 모델 또는 구체적인 도면과 기술 요구사항을 제공해 주시면 기술팀이 최적의 제품 솔루션을 추천하거나 설계해 드립니다.
Q3: 비표준 조성 또는 특수 사양 타겟 주문 시 생산 주기는 얼마나 걸리나요?
A3: 맞춤 제작 주기는 조성의 복잡성과 가공 난이도에 따라 달라집니다. 기존 공정을 기반으로 한 조정의 경우 일반적으로 수 주가 소요되며, 완전히 새로운 개발의 경우 공정 평가를 수행해야 합니다. 구체적인 요구사항을 접수한 후 가능한 한 신속하게 상세한 일정과 견적을 제공해 드리겠습니다.
Q4: 공정 안정성을 보장하기 위해 세라믹 스퍼터링 타겟 사용 시 특별히 주의해야 할 사항은 무엇인가요?
A4: 세라믹 스퍼터링 타겟 사용 시 적절한 설치를 유의하고 과도한 조임으로 인한 균열을 방지해야 합니다. 또한 타겟 표면을 깨끗하게 하기 위해 철저한 사전 스퍼터링을 수행하는 것이 좋습니다. 반응성 스퍼터링 공정의 경우 산소 분압의 정밀한 제어와 중주파 전원 공급 장치 사용이 스퍼터링 안정성 유지 및 타겟 중독과 아크 발생 방지에 매우 중요합니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
기술 데이터 시트(TDS)
물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 시험 보고서 제공
당사는 단순한 스퍼터링 타겟 제조업체가 아닌, 귀사의 기술적 과제를 해결하는 솔루션 파트너입니다. 산화물 재료의 특성에 대한 깊은 이해와 전 공정에서의 엄격하고 정밀한 관리를 바탕으로, 모든 타겟이 우수하고 일관된 성능을 발휘하도록 보장합니다. 전문적이고 신뢰할 수 있는 제품과 효율적이며 유연한 서비스로 귀사의 믿을 수 있는 장기 파트너가 되기 위해 최선을 다하겠습니다.
분자식: FeTiO₃
분자량: 151.71 g/mol
외관: 검은색 표적
밀도: 4.7 g/cm³
녹는점: 1300°C
결정 구조: 육각형(일메나이트 유형)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
