산화붕소 도핑 산화아연

붕산화물 도핑된 산화아연 스퍼터링 타겟 개요

붕산화물 도핑된 산화아연
스퍼터링 타겟은 광대역 갭 반도체인 산화아연(ZnO)과 유리 형성 물질인 붕산화물(B₂O₃)을 특정 비율로 결합하여 형성된 다기능 세라믹 타겟입니다. 이 복합 구조를 통해 본 소재는 ZnO의 우수한 압전 및 광전자 특성과 B₂O₃의 낮은 융점, 높은 열 안정성, 플럭싱 특성을 결합하는 것을 목표로 합니다. 특수 광전자 특성, 고밀도, 우수한 계면 특성을 지닌 복합 산화막 증착에 활용될 수 있으며, 전자 패키징, 투명 전자 소자, 특수 기능성 코팅 분야에서 널리 사용됩니다.

당사는 고객의 공정 요구사항을 충족시키기 위해 다양한 ZnO:B₂O₃ 비율(중량 또는 몰비)과 고순도(≥99.9%)의 복합 세라믹 스퍼터링 타겟을 맞춤형으로 제작하며, 표준 규격 또는 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 문의 바랍니다.

제품

하이라이트
구성 비율의 유연한 맞춤화
고순도 및 고밀도
두 산화물의 우수한 특성 결합
막 균일성 확보에 탁월한 잠재력
전문적인 본딩
및 기술 서비스

붕소 산화물 도핑 아연 산화물 스퍼터링 타겟의 응용 분야

전자 패키징 및 절연: 반도체
소자 보호를 위한 고절연성, 고밀도 캡슐화 패시베이션 또는 유전체 층 증착.
투명 전도성 필름: 도핑 및 기타 공정을 통해 터치스크린 및 디스플레이용 투명 전도성 산화막으로 증착됩니다.
압전 및 음향 장치: 센서, 표면 음향파 장치, 마이크로전자기계시스템(MEMS)용으로 탁월한 압전 특성을 지닌 필름 제조에 사용됩니다.
특수 기능성 코팅: 내마모성, 내식성 또는 광학적으로 맞춤화된 보호 및 반사 방지 코팅으로 기능합니다.

FAQs

Q1: 복합 B₂O₃를 사용하는 이유는 무엇인가요? 그 기능은 무엇인가요?
A1: B₂O₃는 유리 형성 성분으로, 주로 재료의 융점을 낮추고 소결 활성을 향상시키며 필름 밀도를 개선하고 ZnO와 함께 특정 보레이트 유리 상을 형성하는 역할을 합니다.

Q2: 이 복합 타겟의 주요 장점은 무엇인가요?
A2: 핵심 장점은 필름의 전기적, 광학적, 기계적 특성을 시너지적으로 조절하는 데 있습니다. 예를 들어 높은 절연성, 우수한 접착력, 특정 광학적 특성을 동시에 달성할 수 있습니다.

Q3: 타겟 재료 비율은 어떻게 결정하나요?
A3: 원하는 필름 특성에 따라 달라집니다. B₂O₃ 비율을 높이면 절연성과 밀도가 향상되며, 압전성 또는 전도성을 우선시할 경우 ZnO가 우세한 조성물이 필요합니다. 일반적으로 실험적 최적화가 요구됩니다.

Q4: 타겟 재료는 어떻게 보관 및 관리해야 합니까?
A4: 건조한 환경에서 밀폐된 방습 용기에 보관하십시오. 취성 세라믹 타겟의 충격으로 인한 균열을 방지하기 위해 제거 및 배치 시 주의하여 취급하십시오. 사용 후 표면 청결 유지.

보고서

각 배치별 제공 항목:
분석 증명서(COA)

기술 데이터 시트(TDS)

물질안전보건자료(MSDS)
요청 시 제3자 시험 보고서 제공

왜 저희를 선택해야 하나요?

저희는 기능성 산화물 소재의 맞춤형 개발을 전문으로 합니다. 전문적인 기술 솔루션과 신뢰할 수 있는 제조 공정을 통해 복합 박막 소재에 대한 고객의 특정 요구 사항을 충족합니다.