붕소 스퍼터링 타겟은 고순도 붕소로 만들어지며, 일반적으로 금속 광택과 원자 결정 구조를 가진 짙은 회색에서 검은색으로 나타납니다. 경도가 높고 융점이 높으며 화학적 안정성이 뛰어난 붕소 타겟을 사용하면 조밀하고 균일하며 잘 부착된 박막을 증착할 수 있습니다.
붕소 타겟은 붕소 박막, 붕소 박막(B₄C, TiB₂, MoB₂ 등) 및 붕소 도핑 반도체 필름의 제조를 포함하여 반도체, 광전자, 광학 코팅 및 하드 코팅 응용 분야에서 널리 사용됩니다. 붕소 타겟은 다양한 공정 요구 사항을 충족하기 위해 원형, 직사각형 또는 기타 맞춤형 모양으로 제조할 수 있습니다.
고순도: 표준 ≥99.5%, 최대 ≥99.9%의 초고순도
우수한 물리적 특성: 높은 융점(~2076°C), 높은 경도(Mohs ~9.3)
강력한 화학적 안정성: 상온에서 산과 알칼리에 대한 내성: 내산성 및 내알칼리성
우수한 필름 품질: 강력한 접착력으로 조밀하고 균일한 필름을 생성합니다.
맞춤형 사양: 요청 시 크기, 모양, 순도 제공 가능
반도체 산업: 붕소 스퍼터링 타겟은 붕소가 도핑된 실리콘 필름, P형 반도체 제조에 사용됩니다.
광학 코팅: 내마모성, 고온, 반사 방지 필름
하드 코팅: 탄화붕소(B₄C) 및 이붕화티타늄(TiB₂)과 같은 코팅 생산
원자력 산업: 붕소 스퍼터링 타겟은 중성자 흡수 능력이 높은 박막에 사용됩니다.
오염을 방지하기 위해 취급할 때는 깨끗한 장갑이나 손가락장갑을 사용하세요.
밀봉된 방습 포장에 넣어 서늘하고 건조하며 깨끗한 환경에 보관하세요. 강한 산화제, 할로겐, 기계적 충격을 줄 수 있는 곳을 피해 보관하세요.
외관: 짙은 회색에서 검은색 고체
결정 구조: 원자 결정, 모스 경도 9.3
밀도: ~2.34g/cm³(소결 방법에 따라 다를 수 있음)
녹는점: 2076°C
화학적 안정성: 실온에서 산소 또는 묽은 산과 반응하지 않으며, 할로겐 및 강한 산화제와 격렬하게 반응합니다.
내부 포장: 정전기 방지 폴리에틸렌 백에 진공 밀봉
외부 포장: 충격 방지 상자 또는 폼 라이닝이 있는 목재 케이스
표준 공급: 1개/박스 또는 고객 요구사항에 따라
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