리튬 코발트 산화물
스퍼터링 타겟은 LiCoO₂ 기능층의 박막 증착을 위해 설계된 세라믹 산화물 타겟입니다. 정확한 조성 제어와 안정적인 증착 특성이 요구되는 배터리 박막, 마이크로 에너지 장치 및 전기화학 연구 분야에서 널리 사용됩니다.
ULPMAT는 RF 및 마그네트론 스퍼터링 공정에 적합한 제어된 화학량론과 고밀도 미세구조를 가진 리튬 코발트 산화물 스퍼터링 타겟을 공급합니다. 이 타겟은 균일한 필름 성장, 안정적인 스퍼터링 속도 및 재현 가능한 박막 성능을 지원하도록 설계되었습니다.
신뢰할 수 있는 필름 화학을 위한 화학량론적 LiCoO₂ 조성
안정적인 스퍼터링 거동을 지원하는 고밀도 세라믹 구조
일관된 박막 두께를 위한 균일한 미세구조
RF 및 마그네트론 스퍼터링 시스템에 적합
일반 기판과의 우수한 접착 호환성
배터리 및 전기화학 박막 응용 분야를 위해 설계됨
박막 리튬 이온 배터리:
리튬 코발트 산화물 스퍼터링 타겟은 박막 및 마이크로 배터리 장치의 음극층 증착에 사용됩니다.
마이크로전자공학 및 MEMS:
LiCoO₂ 박막은 전자 장치와 통합된 마이크로 에너지 저장 부품에 적용됩니다.
전기화학 및 에너지 소재 연구:
박막 형태의 리튬 이온 수송 및 전기화학적 성능 연구를 위한 학계 및 산업 연구에서 널리 사용됩니다.
기능성 산화물 박막
: 리튬 코발트 산화물 타겟은 첨단 에너지 관련 응용 분야를 위한 기능성 산화물 코팅 개발을 지원합니다.
Q1: 리튬 코발트 산화물 타겟에 적합한 스퍼터링 방법은 무엇인가요?
A1: 리튬 코발트 산화물 스퍼터링 타겟은 일반적으로 RF 또는 마그네트론 스퍼터링 시스템에 사용됩니다.
Q2: 스퍼터링 중 리튬 손실이 문제되나요?
A2: 적절한 타겟 설계와 최적화된 스퍼터링 파라미터는 박막 조성 유지와 리튬 휘발성 감소에 도움이 됩니다.
Q3: 이 타겟을 백킹 플레이트에 접합할 수 있나요?
A3: 예, 시스템 요구 사항에 따라 적합한 접합 옵션과 함께 타겟을 공급할 수 있습니다.
Q4: LiCoO₂ 박막과 호환되는 기판은 무엇인가요?
A4: 일반적인 기판으로는 실리콘 웨이퍼, 유리, 사파이어 및 박막 배터리 연구에 사용되는 금속 기판이 있습니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질안전보건자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공
ULPMAT는 첨단 에너지 및 기능성 산화물 소재에 주력하며, 배터리 및 박막 연구 분야의 스퍼터링 타겟 응용을 위한 제어된 품질, 기술 지원 및 안정적인 공급을 제공합니다.
분자 공식: LiCoO₂
분자량: 97.87 g/mol
외관: 검은색 또는 짙은 회색의 고밀도 고체 타겟
밀도: 5.05g/cm³
결정 구조: 육각형
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
