산화리튬
스퍼터링 타겟은 고체 상태 배터리, 투명 전도성 필름 및 산화물 반도체에 리튬 함유 코팅을 생산하기 위한 첨단 박막 증착 공정에 사용됩니다. 우수한 반응성과 높은 리튬 함량을 지닌 Li₂O 타겟은 마그네트론 스퍼터링 및 PLD(펄스 레이저 증착) 시스템에서 리튬 공급원으로 기능합니다.
당사의 리튬 산화물 스퍼터링 타겟은 전형적 순도 ≥99.9%의 고순도 분말로 설계되어 소결 또는 열간 압축 공정을 통해 높은 밀도와 균일성을 달성합니다. 포괄적인 판매 지원도 제공하오니 문의 사항이 있으시면 언제든지 연락
주시기 바랍니다.
순도: ≥99.9% (3N)
효율적인 도핑 또는 화합물 형성을 위한 높은 리튬 함량
맞춤형 치수 및 본딩 서비스 제공
안정적인 스퍼터링 속도를 위한 고밀도 균일 미세구조
순도 등급: 3N (99.9%) 표준; 4N 이상 요청 시 제공
타겟 형상: 원형, 직사각형 또는 맞춤형 기하학적 구조
치수: 일반 직경 1인치~8인치, 두께 3~10mm; 맞춤 제작 가능
본딩
: 인듐 또는 에폭시를 이용한 백킹 플레이트(구리, 몰리브덴) 본딩 옵션
고체 리튬 배터리
: 리튬 풍부 고체 전해질(예: LLZO, LISICON계, LiPON) 박막 증착
일렉트로크로믹 소자: 스마트 윈도우 응용을 위한 리튬 삽입 산화막
투명 전도성 산화물: ZnO 및 ITO 등의 전자적 특성 조절을 위한 도핑제
기능성 박막: 첨단 전자 소자를 위한 리튬 함유 산화층 형성용
Q1: 리튬 산화물 스퍼터링 타겟은 주로 어떤 종류의 박막에 사용됩니까?
A1: 이 스퍼터링 타겟은 주로 리튬 기반 기능성 소재, 고체 전해질 및 관련 산화물 박막과 같은 연구 분야에서 흔히 발견되는 리튬 산화물 기능성 박막을 제조하는 데 사용됩니다.
Q2: 박막 증착 시 리튬 산화물 소재의 특성은 무엇인가요?
A2: 이 소재는 전형적인 산화물 특성을 나타내며, 스퍼터링 증착 과정에서 균일한 조성 및 안정적인 구조를 가진 기능성 박막을 형성하는 데 도움이 됩니다.
Q3: 이 리튬 산화물 스퍼터링 타겟에 적합한 스퍼터링 공정은 무엇인가요?
A3: 리튬 산화물 스퍼터링 타겟은 일반적으로 고주파 스퍼터링과 같은 PVD 공정에 적합하며, 연구 및 파일럿 규모 단계에서의 박막 제조 요구를 충족시킵니다.
Q4: 리튬 산화물 스퍼터링 타겟 사용 및 보관 시 주의사항은 무엇인가요?
A4: 타겟은 건조하고 밀폐된 환경에 설치 및 보관하여 공기와 수분과의 접촉을 최소화하는 것이 권장됩니다. 이는 스퍼터링 공정의 안정성과 박막의 품질을 보장하기 위함입니다.
모든 Li₂O 스퍼터링 타겟은 분석 증명서(COA) 및 물질안전보건자료(MSDS)와 함께 제공됩니다. 요청 시 XRD, SEM 및 EDX 보고서를 제공할 수 있습니다.
분자 공식: Li₂O
분자량: 29.88 g/mol
외관: 흰색 표적 물질
밀도: 2.013 g/cm³
융점: 1432°C
결정 구조: 안티플루오라이트 구조(입방정계)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
