리튬-란타늄-지르코늄 산화물(LLZO)
스퍼터링 타겟은 LLZO 고체 전해질 층의 박막 증착을 위해 설계된 세라믹 타겟입니다. 높은 리튬 이온 전도도, 우수한 열적 및 화학적 안정성으로 알려진 LLZO 타겟은 전고체 리튬 배터리, 마이크로 배터리 박막, 첨단 전기화학적 재료의 연구 개발에 널리 사용됩니다.
리튬-란타늄-지르코늄 산화물 스퍼터링 타겟은 균일한 스퍼터링 속도, 재현 가능한 박막 조성, 안정적인 이온 전도도를 보장하기 위해 제어된 화학량론과 고밀도 세라믹 구조로 제조됩니다. 박막 고체 전해질 연구에 사용되는 RF 및 마그네트론 스퍼터링 시스템에 적합합니다.
증착 박막의 높은 리튬 이온 전도도
균일하고 안정적인 스퍼터링을 위한 고밀도 세라믹 구조
재현 가능한 박막 특성을 위한 제어된 화학량론
RF 및 마그네트론 스퍼터링 시스템 호환
전고체 마이크로 배터리 연구에 적합
일반 기판과의 우수한 접착력 및 호환성
박막 고체 전해질
: 리튬-란타늄-지르코늄 산화물 타겟은 전고체 리튬 마이크로 배터리에서 고체 전해질 층을 증착하는 데 사용됩니다.
마이크로 배터리 및 에너지 저장 연구:
LLZO 타겟으로 제작된 박막은 이온 전도도, 계면 공학 및 전기화학적 안정성 연구에 적용됩니다.
전기화학적 재료 연구:
리튬-란타늄-지르코늄 산화물 타겟은 고체 전해질, 복합 전극 및 기능성 박막 재료에 대한 첨단 연구를 지원합니다.
마이크로배터리용 기능성 코팅:
에너지 저장 및 마이크로전자 응용을 위한 박막 고체 전해질 코팅 개발에 사용됩니다.
Q1: LLZO 타겟에 적합한 스퍼터링 방법은 무엇입니까?
A1: LLZO 타겟은 세라믹 및 절연 특성으로 인해 RF 및 마그네트론 스퍼터링 시스템에서 일반적으로 사용됩니다.
Q2: LLZO 박막은 스퍼터링 중 리튬 함량을 유지할 수 있나요?
A2: 적절한 타겟 설계와 최적화된 스퍼터링 파라미터로 리튬 손실을 최소화하고 균일한 박막 구성을 보장합니다.
Q3: LLZO 타겟은 백킹 플레이트와 호환되나요?
A3: 예, 타겟 치수와 스퍼터링 시스템 요구사항에 따라 본딩 옵션을 제공할 수 있습니다.
Q4: LLZO 박막과 호환되는 기판은 무엇입니까?
A4: 실리콘 웨이퍼, 유리, 사파이어 및 박막 고체 배터리 연구에 사용되는 기타 재료가 일반적인 기판입니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공 가능
리튬-란타늄-지르코늄 산화물(LLZO) 스퍼터링 타겟은 박막 고체 전해질, 전고체 배터리 개발 및 마이크로 배터리 연구 분야에서 자주 검색됩니다. 고밀도 세라믹 구조, 제어된 화학량론 및 RF/마그네트론 스퍼터링 시스템과의 호환성은 높은 검색 가시성과 기술적 관련성을 지원합니다.
분자식: LiLaZrO₃
분자량: 275.08 g/mol
외관: 흰색 또는 밝은 회색 고밀도 고체 타겟
밀도: 약 5.6g/cm³
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
