
란탄 망간 알루미늄 산화물 스퍼터링 타겟은 고급 박막 증착 공정을 위해 설계된 고성능 소재입니다. 이 소재는 화학적 순도가 우수하고 미세 구조가 치밀하여 균일한 필름 형성, 강한 접착력 및 매우 낮은 불순물 함량을 보장하여 하이엔드 전자 및 광학의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
당사는 원형 및 직사각형을 포함한 다양한 모양과 크기의 란탄 망간 알루미늄 산화물 스퍼터링 타겟을 제공하며 고객의 요구에 따라 맞춤형 사양을 지원합니다. 과학 연구든 산업 생산이든 프로젝트의 원활한 진행을 위해 모든 범위의 기술 지원 및 애프터 서비스를 제공할 수 있습니다.
제품 하이라이트:
99.9%의 엄격한 기준을 충족하는 고순도
우수한 밀도로 박막의 균일한 증착 보장
다양한 공정 요건을 충족하는 크기와 모양의 유연한 맞춤화 가능
타겟 바인딩 서비스 제공
반도체 소자, 자기 저장 장치, 광학 부품 및 기능성 코팅에 널리 사용됨
응용 분야
반도체: 고성능 전자 기기의 기능성 박막층 제조에 사용됩니다.
자기 저장: 고밀도 데이터 저장을 위한 자성 필름의 준비
광학 장치: 렌즈와 반사판에 고품질 기능성 코팅 형성
기능성 코팅: 센서 및 기타 첨단 소재에 사용
보고서
각 제품 배치에는 분석 인증서(COA), 물질안전보건자료(MSDS) 및 관련 품질 보고서가 함께 제공됩니다. 이와 동시에 제품 품질이 최고 수준의 업계 표준을 충족하는지 확인하기 위해 타사 테스트를 지원합니다.
분자식: LaMn₀.₂Al₀.₈O₃
분자량: 약 190.00 g/mol
외관: 회백색 고밀도 세라믹 타겟, 매끄러운 표면
밀도: ≥ 5.0g/cm³(고밀도 소결체)
융점: 약 1,500°C(세라믹 소재)
용해도: 물 및 일반 유기 용매에 용해되지 않음
전도성: 고체 상태는 반도체 특성을 나타냅니다.
열 안정성: 고온에서 안정적이며 고온 공정 환경에 적합함
열팽창 계수: 약 8 × 10-⁶ K-¹(박막 증착 공정에 적합)
결정 구조: 사방정계 시스템
자기적 특성: 상자성, 안정적인 자기적 특성
화학적 안정성: 화학적 불활성, 산 및 알칼리 내식성, 다양한 대기 환경에 적합
내식성: 산화 및 불활성 대기에서 장기간 안정성 유지
기계적 특성: 고밀도 세라믹 구조, 높은 기계적 강도, 스퍼터링 공정에 적합
내부 포장: 오염과 습기로부터 보호하기 위한 진공 밀봉 백.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 판지 또는 나무 상자.
깨지기 쉬운 대상: 안전한 운송을 위해 특수 보호 포장이 사용됩니다.