리튬 실리케이트
스퍼터링 타겟은 고체 상태 배터리 개발, 보호 코팅, 광학 필름 및 기타 기능성 세라믹 응용 분야에서 박막 증착에 사용되는 첨단 세라믹 소재입니다. 높은 리튬 함량, 우수한 이온 전도도 및 탁월한 열 안정성으로 알려져 있습니다.
당사의 리튬 실리케이트 스퍼터링 타겟은 고밀도, 균일한 미세구조, 순도 ≥99.9%로 제작됩니다. 원형 및 직사각형 타입을 포함한 다양한 크기와 형태로 제공되며, 고객의 정확한 요구 사항에 맞춰 맞춤 제작도 가능합니다.
순도: ≥99.9% (요청 시 맞춤형 고순도 가능)
고밀도: 효율적이고 균일한 박막 증착을 위한
낮은 불순물 수준: 박막 내 최소한의 오염 보장
맞춤 제작 가능: 크기, 형상 및 백킹 플레이트 구성
고체 리튬 배터리: 박막 전해질 층 또는 계면 공학
보호 코팅: 리튬 또는 부식성 환경에 노출된 부품용
광전자공학: 전기 세라믹 장치의 기능성 또는 버퍼 층
촉매: 리튬 관련 반응의 박막 촉매 지지체
Q1: 리튬 실리케이트 스퍼터링 타겟의 주요 박막 응용 분야는 무엇입니까?
A1: 이 스퍼터링 타겟은 주로 리튬 실리케이트 기능성 박막 제조에 사용되며, 고체 전해질 연구, 이온 전도성 박막, 기능성 세라믹 코팅 분야에서 흔히 발견됩니다.
Q2: 박막 제조 시 리튬 메타실리케이트는 어떤 재료 특성을 가집니까?
A2: 이 재료는 우수한 화학적 안정성과 구조적 일관성을 보여 스퍼터링 과정에서 균일하고 연속적인 기능성 박막 형성에 유리합니다.
Q3: 이 스퍼터링 타겟에 적합한 증착 공정 조건은 무엇인가요?
A3: 리튬 메타실리케이트 스퍼터링 타겟은 RF 스퍼터링과 같은 PVD 공정에 적합하며, 연구 및 파일럿 규모 생산의 박막 품질 요구 사항을 충족합니다.
Q4: 리튬 메타실리케이트 스퍼터링 타겟 사용 시 주의사항은 무엇인가요?
A4: 스퍼터링 공정 안정성과 박막 성능 일관성을 보장하기 위해 습기나 오염을 피하고 건조한 환경에서 타겟을 설치 및 보관할 것을 권장합니다. 보고서
Li₂SiO₃ 각 배치에는 분석 증명서(COA)
와 물질안전보건자료(MSDS)
가 함께 제공됩니다. 요청 시 선택적 제3자 시험 보고서를 제공할 수 있습니다.
분자식: Li₂SiO₃
분자량: 89.97 g/mol
외관: 고밀도 흰색 또는 회백색 고체 타겟 물질
밀도: 2.52g/cm³
융점: 1201°C
결정 구조: 단사면체
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
