회전 타겟의 독특한 원통형 설계의 핵심 장점은 물리적 회전을 통해 타겟 표면을 균일하게 활용할 수 있다는 점입니다. 이 설계는 스퍼터링 중 재료 소비를 최적화할 뿐만 아니라 지속적인 회전을 통해 증착된 재료의 균일한 분포를 보장합니다. 실린더의 회전 메커니즘은 스퍼터링 빔이 타겟 표면에 보다 균일한 침식 경로를 형성하도록 하여 타겟의 활용도를 크게 향상시키고 박막 증착 공정에서 높은 효율과 일관성을 보장합니다.
로터리 타겟 포트폴리오
도미노는 다양한 산업 요구를 충족하는 포괄적인 로터리 타겟을 제공합니다.
| 금속 로터리 타겟 | 합금 로터리 타겟 | 세라믹 로터리 타겟 |
| 알루미늄(Al) | 니켈 크롬(NiCr) | 니오븀 산화물(Nb2O5) |
| 티타늄(Ti) | 텅스텐 티타늄(WTi) | 실리콘 카바이드(SiC) |
| 구리(Cu) | 아연 주석(ZnSn) | 인듐 주석 산화물(ITO) |
| 몰리브덴(Mo) | 니켈 철(NiFe) | 알루미늄 도핑 산화아연(AZO) |
| 텅스텐(W) | 실리콘 알루미늄(SiAl) | 갈륨 도핑 산화 아연(GZO) |
| 실리콘(Si) | 실리콘 알루미늄 지르코늄(SiAlZr) | 인듐 주석 산화물(ITO) |
또한 반도체, 태양광 및 광학 산업을 위해 설계된 재료인 복합 및 특수 로터리 타겟을 제공합니다.
로터리 타겟과 평면 타겟 비교
타겟 활용도: 회전 타겟은 고유한 회전 메커니즘 덕분에 타겟 활용도를 70%~80% 이상으로 크게 높일 수 있습니다. 평면 타겟은 일반적으로 재료 사용률이 40~50%에 불과합니다.
필름 증착 효율: 평면 타겟은 특정 성능 요구 사항을 충족하기 위해 작은 영역이나 특정 모양의 필름을 증착할 때 우수한 성능을 발휘합니다. 회전식 타겟은 넓은 면적에 필름을 균일하게 증착할 때 상당한 이점을 보여줍니다. 이는 증착 효율을 향상시킬 뿐만 아니라 제품 품질 향상에 중요한 필름 균일성과 일관성을 보장합니다.
비용 효율성: 평면 타겟의 초기 비용이 낮기 때문에 예산이 제한적이거나 필름 균일성이 중요하지 않은 애플리케이션에 이상적입니다. 로터리 타겟은 초기 투자 및 유지보수 비용이 높지만 재료 사용률과 증착 효율이 높아 장기적으로 재료 비용을 더 많이 절감하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
로터리 타겟의 용도는 무엇인가요?
첨단 야금, 엄격한 품질 관리 및 맞춤형 엔지니어링을 갖춘 로터리 타겟은 스퍼터링 공정의 효율성과 필름의 품질을 최적화하여 차세대 코팅 및 박막 애플리케이션을 실현할 수 있도록 지원합니다.
