타겟 본딩

1. 클램핑(기계적 압착)

이 방법은 압력 바를 사용하며 종종 접촉을 개선하기 위해 흑연 호일, 납(Pb) 또는 인듐(In) 호일과 같은 재료를 포함합니다. 그러나 이 방법은 신뢰성이 낮고 시장 수용도가 낮아 오늘날에는 거의 사용되지 않습니다.

2. 납땜(브레이징)

연 납땜은 특히 인듐, 주석 또는 In-Sn 합금의 경우 가장 일반적인 방법입니다. 열 전도성이 우수하며 일반적으로 스퍼터링 파워가 20W/cm² 미만일 때 사용됩니다. 세라믹 타겟의 열 방출을 개선하는 데 특히 효과적입니다.

3. 전도성 실버 에폭시

더 높은 스퍼터링 파워가 필요하고 기존 인듐 솔더가 낮은 융점으로 인해 열을 견딜 수 없을 때 사용됩니다. 실버 에폭시는 고온을 견딜 수 있으며 매우 얇은 층(0.02~0.05mm)으로 도포됩니다. 일반적으로 더 높은 내열성이 필요한 특수 공정에 선택됩니다.