산화 스칸듐
스퍼터링 타겟은 고순도 분말을 사용하여 첨단 공정으로 제조된 세라믹 타겟으로, 다양한 물리적 기상 증착 시스템에 적합합니다. 본 제품은 우수한 광전자 특성을 지닌 박막을 증착할 수 있어 첨단 기능성 소재 제조의 핵심 원료입니다.
고객 요구에 따라 다양한 크기, 순도 및 접합
방식의 스칸듐 산화물 세라믹 타겟을 공급 가능합니다. 구체적인 사양 및 기술적 세부사항은 당사로
직접 문의해
주십시오.
고밀도
정밀하고 제어 가능한 화학량론 비율
균일한 미세구조, 균열 및 기공 없음
우수한 내열충격성, 긴 수명
투명 전도성 박막:
고성능 스칸듐 주석 산화물 박막 증착에 사용되며, 높은 투과율과 우수한 전도성을 결합한 터치스크린 및 태양전지의 투명 전극으로 활용됩니다.
광학 보호 코팅:
정밀 광학 부품 표면에 스칸듐 산화물 보호층을 형성하여 내마모성, 레이저 손상 저항성 및 환경 안정성을 크게 향상시킵니다.
고체 전해질 필름:
전고체 배터리 및 전기변색 장치에 사용되며, 증착된 스칸듐 산화물 기반 필름은 높은 이온 전도도와 우수한 계면 호환성을 나타냅니다.
고유전율 게이트 유전체:
반도체
소자에서 고유전율 게이트 유전체 재료로 사용되어 누설 전류를 줄이고 소자 집적도를 향상시킵니다.
Q1: 스칸듐 산화물 타겟과 스칸듐 금속 타겟의 주요 적용 차이점은 무엇입니까?
A1: 스칸듐 금속 타겟은 주로 금속 기능성 필름 증착에 사용됩니다. 스칸듐 산화물 세라믹 타겟은 특히 산화물 필름 증착에 사용되며, 광학, 전자, 보호 분야에서 독특한 성능 이점을 가집니다.
Q2: 적합한 타겟 접합 방법을 어떻게 선택하나요?
A2: 일반적인 방법으로는 브레이징, 전도성 접착제 접합, 무접합
설계 등이 있습니다. 선택 시 전력 밀도, 방열 요구사항, 공정 챔버 구조를 종합적으로 고려해야 합니다. 귀사의 장비에 기반한 전문적인 조언을 제공해 드립니다.
Q3: 스퍼터링 중 타겟 표면 균열을 방지하는 방법은 무엇인가요?
A3: 공정 파라미터(전력, 가스 압력, 분위기 비율 등) 최적화와 높은 초기 타겟 밀도 및 균일한 구조 확보가 핵심입니다. 공정 윈도우 참고 자료 제공 및 적합한 스퍼터링 조건을 추천해 드립니다.
Q4: 제품의 일반적인 리드 타임은 어떻게 되나요?
A4: 표준 사양 제품은 일반적으로 재고 보유 중이며, 비표준 맞춤형 제품의 경우 복잡도에 따라 생산 주기는 일반적으로 4~8주 소요됩니다. 프로젝트 일정 요구사항 충족을 위해 최선을 다해 조정하겠습니다.
각 배치별 제공 항목:
분석 증명서(COA)
물질안전보건자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 시험 보고서 제공 가능합니다.
저희는 첨단 세라믹 스퍼터링 타겟의 연구 개발 및 제조를 전문으로 하며, 성숙한 분말 가공, 성형 및 소결 기술을 보유하고 있습니다. 원료 순도와 공정 흐름에 대한 엄격한 관리를 통해 모든 타겟이 신뢰할 수 있고 일관된 고성능을 보장합니다. 저희는 단순히 제품을 제공하는 것을 넘어, 귀사의 기술 파트너가 되기 위해 노력하며 박막 개발 및 생산 과정에서 전문적인 소재 솔루션과 지속적인 기술 지원을 제공합니다.
분자식: Sc₂O₃
분자량: 137.91 g/mol
외관: 흰색, 고밀도 타겟 블록
밀도: 3.86 g/cm³
융점: 2485 °C
끓는점: 4300 °C
결정 구조: 큐빅(빅스바이트형)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 담아 박스에 포장합니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.