칼슘 티타네이트(티타늄 산화물 칼슘)

칼슘 티타네이트 스퍼터링 타겟 개요

칼슘 티타네이트
스퍼터링 타겟은 표준 페로브스카이트 결정 구조를 지닌 기능성 세라믹 소재로, 물리적 기상 증착(PVD) 공정을 위해 특별히 설계되었습니다. 스퍼터링을 통해 기판 위에 고품질의 균일한 칼슘 티타네이트 박막을 형성합니다. 이 박막은 탁월한 유전체, 강유전체 및 광학적
특성으로 인해 첨단 전자 부품 및 광학 코팅 응용 분야에서 핵심적인 역할을 합니다.

당사는 다양한 순도, 치수 및 결정 방향의 고품질 칼슘 티타네이트 세라믹 스퍼터링 타겟을 전문적으로 제조 및 공급합니다. 고객의 장비 요구 사항에 맞춘 맞춤형 백킹 플레이트 본딩
서비스도 제공됩니다. 맞춤형 솔루션을 원하시면 문의하십시오
.

제품 하이라이트

높은 상 순도
탁월한 밀도
선택 가능한 배향
강한 화학적 안정성
우수한 필름 품질

칼슘 티타네이트 스퍼터링 타겟의 응용 분야

고성능 커패시터 및 메모리 장치:
DRAM 또는 차세대 임베디드 커패시터의 핵심 유전체 층으로 고유전율(high-k) 필름 증착에 사용되며, 장치 소형화 및 고성능 달성을 위한 핵심 소재 역할을 합니다.

광학 코팅 및 광학 소자:
자외선에서 적외선 스펙트럼에 걸친 높은 굴절률과 투명성을 활용하여 복잡한 광학 간섭 필터, 반사 방지 코팅, 통합 광학 회로의 도파관 층 제작을 가능하게 합니다.

광전자 및 센서:
전형적인 강유전체 및 다중강유전체 물질로서, 이들의 박막은 비휘발성 메모리, 압전 센서, 광검출기 및 신형 태양전지의 기능성 층으로 사용되어 빠른 응답성과 높은 감도를 제공합니다.

초전도체 및 양자 물질의 기초 연구:
고온 초전도체 박막 또는 기타 복잡한 산화물 양자 물질의 에피택셜 성장에 중요한 기판 재료로서, 최첨단 응집 물질 물리학 및 재료 과학 연구를 위한 필수적인 플랫폼을 형성합니다.

FAQs

Q1: 칼슘 티타네이트 타겟을 보관하고 사용할 때 특별한 주의 사항은 무엇입니까?
A1: 세라믹 타겟은 분말보다 안정적이지만, 여전히 건조한 환경에서 밀봉하여 보관하는 것이 권장됩니다. 최적의 필름 성능을 얻기 위해 사용 전 타겟 표면의 잠재적 산화물이나 오염 물질을 제거하기 위한 사전 스퍼터링 청소를 수행하는 것이 일반적으로 권장됩니다.

Q2: 이 타겟으로 스퍼터링할 때 RF 모드와 DC 모드 중 어떤 것을 사용해야 하나요?
A2: 티타네이트 칼슘은 전형적인 유전체 재료로 RF 스퍼터링 모드가 필요합니다. DC 모드는 안정적인 글로우 방전을 유지할 수 없어 이러한 절연성 타겟의 스퍼터링에 효과적이지 않습니다.

Q3: 증착된 필름의 결정질 품질은 어떻게 제어할 수 있나요?
A3: 필름의 결정질 품질은 주로 기판 온도, 스퍼터링 압력 및 전력이 영향을 미칩니다. 일반적으로 적절한 기판 가열은 잘 결정화된 필름 형성을 촉진합니다. 특정 결정 방향을 가진 타겟을 선택하는 것도 박막의 배향성 성장을 촉진합니다.

Q4: 칼슘 티타네이트 박막의 대략적인 유전율은 얼마입니까? 어떻게 측정합니까?
A4: 이 박막의 유전율은 공정 조건에 따라 크게 달라지며, 일반적으로 150에서 300 사이입니다. 실리콘 웨이퍼에 박막을 증착하고, 금속-절연체-금속 커패시터 구조를 제작한 후 임피던스 분석기를 활용하여 측정 및 계산할 수 있습니다.

보고서

각 배치에는 다음이 함께 제공됩니다:
분석 증명서(COA)

기술 데이터 시트(TDS)

물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공

당사를 선택해야 하는 이유

당사는 고성능 세라믹 스퍼터링 타겟의 연구 개발 및 생산을 전문으로 하며, 페로브스카이트 산화물 재료의 정밀한 준비와 박막 공정 간의 관계에 대한 깊은 전문성을 보유하고 있습니다. 고순도 원료의 선택과 첨단 성형/소결 기술부터 최종 정밀 가공 및 비파괴 검사까지, 타겟이 탁월한 미세 구조와 일관된 성능을 발휘하도록 보장하기 위해 모든 단계에서 엄격한 관리를 시행합니다.