탄탈륨 산화칼륨
스퍼터링 타겟은 페로브스카이트 구조 산화물을 기반으로 한 기능성 세라믹 타겟으로, 균일한 조성 및 구조적 안정성이 특징입니다. 이 타겟은 주로 전자 재료 및 기능성 박막 연구 분야에 적용되는 산화물 박막 제조에 사용됩니다.
다양한 크기, 두께 및 장착 방식의 KTaO3 스퍼터링 타겟을 제공하며 맞춤형 가공을 지원합니다. 적합한 솔루션을 위해 문의
바랍니다.
고밀도 세라믹 타겟
안정적이고 신뢰할 수 있는 스퍼터링 공정
우수한 박막 조성 재현성
RF 스퍼터링 공정 지원
백플레인 본딩 가능
연구 및 파일럿 규모 생산에 적합
산화물 기능성 박막 제조: 페로브스카이트 구조 산화물 박막 제조에 널리 사용되며, 안정적인 조성 및 제어 가능한 두께의 기능성 층 확보에 기여합니다.
전자 및 유전체 박막 연구: 전자 재료 연구에서 이 타겟은 유전체 또는 기능성 박막 증착에 활용되어 소자 성능 평가가 가능합니다.
다층 박막 및 이종 구조 개발: 다층 또는 이종 접합 박막 제조에 적합하며, 계면 품질 관리에 유용한 기준을 제공합니다.
공정 파라미터 및 증착 조건 최적화: 이 타겟은 일반적으로 스퍼터링 공정 개발 단계에서 전력, 분위기, 온도가 박막 성능에 미치는 영향을 연구하는 데 사용됩니다.
Q1: 칼륨 탄탈륨 산화물 스퍼터링 타겟은 DC 또는 RF 스퍼터링에 적합합니까?
A1: 세라믹 타겟으로서 일반적으로 RF 스퍼터링 공정에 더 적합합니다.
Q2: 스퍼터링 중 타겟이 균열되기 쉬운가요?
A2: 적절한 공정 조건 하에서는 타겟 구조가 안정적이며 균열 문제는 발생하지 않습니다.
Q3: 백플레인에 결합된 타겟을 제공할 수 있나요?
A3: 예, 구리 또는 기타 일반적으로 사용되는 백플레인과의 접합 서비스를 지원합니다.
Q4: 타겟 사용 전 특별한 처리가 필요한가요?
A4: 일반적으로 특별한 처리는 필요하지 않으며, 표준 스퍼터링 타겟 사용 절차만으로도 충분합니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질안전보건자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공
저희는 산화물 세라믹 스퍼터링 타겟 분야에서 풍부한 경험을 보유하고 있어, 재료 일관성, 가공 정확도 및 응용 분야 매칭에 대한 신뢰할 수 있는 지원을 제공함으로써 고객의 박막 연구 개발 및 공정 검증의 꾸준한 발전을 돕고 있습니다.
분자 공식: KTaO₃
분자량: 268.05
외관: 회백색 표적 물질
밀도: ≥ 6.75g/cm³(이론 밀도 ≥ 95%)
융점 약 1320°C
결정 구조: 입방정계(페로브스카이트 구조, 세라믹 다결정 구조)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 담아 박스에 포장합니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
