마그네슘 실리사이드
스퍼터링 타겟은 마그네슘과 실리콘으로 구성된 복합 타겟으로, 정밀한 조성 비율과 필름 일관성이 요구되는 박막 증착 공정에 적합합니다. 주로 기능성 박막 제조, 재료 표면 공학 및 관련 소자 연구에 사용됩니다.
장비 요구사항에 따라 다양한 크기, 두께, 구조의 마그네슘 실리사이드 스퍼터링 타겟을 가공 가능하며, 맞춤형 제작
및 안정적인 공급을 지원합니다. 문의 사항은 직접 연락 주시기
바랍니다.
복합 스퍼터링 타겟
안정적인 조성 비율
고밀도 구조, 부드러운 스퍼터링
우수한 필름 재현성
제어 가능한 불순물 함량
다양한 사양 맞춤 제작 지원
기능성 박막 증착: 균일한 조성의 실리콘-마그네슘 관련 박막 제조에 사용 가능하며, 필름 안정성 요구 사항을 충족합니다.
진공 증착 공정 개발: 마그네트론 스퍼터링과 같은 진공 공정에서 이 타겟은 파라미터 튜닝 및 공정 검증에 적합합니다.
표면 공학 및 구조층 연구: 마그네슘 실리사이드 타겟을 스퍼터링함으로써 재료의 표면 구조와 특성을 제어할 수 있습니다.
연구 및 실험실 응용: 대학 및 연구 기관에서 박막 재료 연구 및 신규 시스템 탐구에 널리 사용됩니다.
Q1: 마그네슘 실리사이드 스퍼터링 타겟은 어떤 스퍼터링 공정에 적합합니까?
A1: 마그네트론 스퍼터링과 같은 진공 증착 방법에 일반적으로 사용됩니다. 구체적인 적용은 장비 구성에 따라 다릅니다.
Q2: 마그네슘 실리사이드 타겟은 스퍼터링 중 분해되기 쉬운가요?
A2: 적절한 전력 및 진공 조건 하에서는 안정적인 스퍼터링 상태를 유지할 수 있습니다.
Q3: 마그네슘 실리사이드 스퍼터링 타겟을 비표준 크기로 맞춤 제작할 수 있나요?
A3: 예, 타겟 크기와 사용 요구사항에 따라 맞춤 가공을 지원합니다.
Q4: 이 타겟에 백킹 플레이트가 필요한가요?
A4: 백킹 플레이트 필요 여부는 크기와 장비 요구사항에 따라 다릅니다. 해당 사항에 대한 제안을 제공해 드립니다.
각 배치에는 다음이 함께 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공 가능
당사는 복합 스퍼터링 타겟의 배합, 소결 및 가공에 대한 경험을 보유하고 있어 조성의 일관성과 운영 안정성을 보장하며, 고객의 스퍼터링 시운전 시간 단축을 지원합니다.
분자식: Mg₂Si
분자량: 56.38 g/mol
외관: 은회색 고밀도 타겟
밀도: 1.99-2.05 g/cm³(소결 타겟)
융점: 1085°C
결정 구조: 큐빅(아연 혼합 방지 구조)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 담아 박스에 포장합니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
