리튬 란타늄 티타늄 산화물(LLTO)

리튬 란타늄 티타늄 산화물 스퍼터링 타겟 개요

리튬 란타늄 티타늄 산화물
(LLTO) 스퍼터링 타겟은 LLTO 고체 전해질 층의 박막 증착을 위해 설계된 세라믹 타겟입니다. 높은 리튬 이온 전도도, 열적 안정성 및 리튬 금속과의 호환성 덕분에 LLTO 타겟은 전고체 리튬 마이크로 배터리, 박막 에너지 저장 장치 및 첨단 전기화학적 재료의 연구 개발에 널리 사용됩니다.

리튬-란타늄-티타늄 산화물 스퍼터링 타겟은 제어된 화학량론과 고밀도 세라믹 구조로 제조되어 일관된 스퍼터링 속도, 균일한 박막 두께, 증착된 박막에서 재현 가능한 이온 전도도를 보장합니다. RF 및 마그네트론 스퍼터링 시스템에 적합합니다.

제품 하이라이트

증착된 박막에서 높은 리튬 이온 전도도
안정적이고 균일한 스퍼터링을 위한 고밀도 세라믹 구조
재현 가능한 박막 조성 보장하는 제어된 화학량론
RF 및 마그네트론 스퍼터링 시스템 호환
마이크로 배터리 및 박막 고체 상태 배터리 연구에 적합
우수한 접착력 및 기판 호환성

리튬-란타늄-티타늄 산화물 스퍼터링 타겟의 응용 분야

박막 고체 전해질: 리튬-란타늄-티타늄 산화물
스퍼터링 타겟은 전고체 리튬 마이크로 배터리에서 고체 전해질 층을 증착하는 데 사용됩니다.
에너지 저장 및 배터리 연구:
LLTO 타겟으로 제작된 박막은 이온 전도도, 전기화학적 안정성 및 계면 공학 연구에 적용됩니다.
전기화학적 재료 연구: 리튬-란타늄-티타늄 산화물
타겟은 고체 전해질, 복합 전극 및 기능성 박막 재료에 대한 고급 연구에 적합합니다.
마이크로배터리용 기능성 코팅:
에너지 저장 및 마이크로전자 응용을 위한 박막 기능성 코팅 개발에 사용됩니다.

FAQs

Q1: LLTO 타겟에 적합한 스퍼터링 방법은 무엇입니까?
A1: LLTO 타겟은 세라믹 특성으로 인해 RF 및 마그네트론 스퍼터링 시스템에서 일반적으로 사용됩니다.

Q2: LLTO 박막은 스퍼터링 중 리튬 함량을 유지할 수 있나요?
A2: 적절한 타겟 설계와 최적화된 스퍼터링 파라미터를 통해 리튬 손실을 최소화하고 균일한 박막 구성을 보장합니다.

Q3: LLTO 타겟은 백킹 플레이트와 호환되나요?
A3: 예, 타겟 크기와 스퍼터링 시스템 요구사항에 따라 본딩 옵션을 제공할 수 있습니다.

Q4: LLTO 박막과 호환되는 기판은 무엇입니까?
A4: 일반적인 기판으로는 실리콘 웨이퍼, 유리, 사파이어 및 박막 고체 배터리 연구에 사용되는 기타 기판이 있습니다.

보고서

각 배치에는 다음이 함께 제공됩니다:
분석 증명서(COA)

기술 데이터 시트(TDS)

물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공 가능

재료 장점

리튬-란타늄-티타늄 산화물 스퍼터링 타겟은 박막 고체 전해질, 마이크로 배터리 연구 및 전고체 배터리 응용 분야에서 자주 검색됩니다. 고밀도 세라믹 구조, 제어된 화학량론 및 RF/마그네트론 스퍼터링 시스템과의 호환성은 강력한 기술적 가시성과 Google 검색 관련성을 지원합니다.