| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 140600ST001 | SiC | 99.5% | 299.6mm x 129mm x 5mm | Inquire |
| 140600ST002 | SiC | 99.5% | Ø 25.4mm x 3.175 mm | Inquire |
| 140600ST003 | SiC | 99.5% | Ø 25.4mm x 6.35 mm | Inquire |
| 140600ST004 | SiC | 99.5% | Ø 50.8mm x 3.175 mm | Inquire |
| 140600ST005 | SiC | 99.5% | Ø 50.8mm x 6.35 mm | Inquire |
| 140600ST006 | SiC | 99.5% | Ø 101.6mm x 3.175 mm | Inquire |
| 140600ST007 | SiC | 99.9% | Ø 76.2mm x 3.175mm | Inquire |
| 140600ST008 | SiC | 99.9% | Ø 76.2mm x 6.35mm | Inquire |
| 140600ST009 | SiC | 99.95% | Ø 200mm x 6mm | Inquire |
| 140600ST010 | SiC | 99.99% | Ø 25.4mm x 3.175 mm | Inquire |
실리콘 카바이드
스퍼터링 타겟은 우수한 고온 저항성, 내마모성 및 화학적 안정성을 지닌 고안정성 박막 제조에 적합한 세라믹 타겟입니다. 주로 보호 코팅, 기능성 박막 및 전자 장치 관련 박막 구조물 제조에 사용됩니다.
당사는 공정 호환성 실리콘 카바이드 스퍼터링 타겟을 제공하며 타겟 구조와 증착 조건 간의 기술적
통합을 지원합니다
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안정적인 필름 조성
고온 조건에 대한 강한 적응성
탁월한 내마모성 및 내식성
우수한 스퍼터링 공정 안정성
다양한 증착 공정에 적합
보호 및 내마모 코팅:
실리콘 카바이드 타겟은 일반적으로 고경도 보호 박막을 제조하는 데 사용되어 표면 내마모성과 수명을 향상시킵니다.
전자 및 기능성 박막:
전자 장치 및 기능성 박막 증착에 적합하며, 고온 및 고전력 응용 분야의 요구 사항을 충족합니다.
광학 및 기능성 표면 공학:
기능성 표면 공학에서 실리콘 카바이드 박막은 안정적인 물리적·화학적 특성을 제공합니다.
연구 및 공정 개발:
실험실 R&D 및 공정 검증 단계에서 널리 사용되며 공정 파라미터 최적화를 지원합니다.
Q1: 실리콘 카바이드 스퍼터링 타겟은 어떤 증착 공정에 적합합니까?
A1: 마그네트론 스퍼터링과 같은 박막 증착 공정에 일반적으로 사용되며 다양한 공정 요구 사항을 충족합니다.
Q2: 실리콘 카바이드 타겟은 고온 증착에서 어떻게 성능을 발휘하나요?
A2: 고온 조건에서도 우수한 구조적 안정성과 스퍼터링 일관성을 유지합니다.
Q3: SiC 박막의 주요 장점은 무엇인가요?
A3: 주로 높은 경도, 내마모성, 내식성 및 우수한 열적 안정성에 반영됩니다.
Q4: 타겟 구조가 스퍼터링 안정성에 영향을 미치나요?
A4: 잘 설계된 타겟 구조는 스퍼터링 공정 안정성과 박막 균일성 향상에 도움이 됩니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질안전보건자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공
당사는 세라믹 스퍼터링 타겟 분야에서 지속적인 공급 및 공정 이해 능력을 보유하고 있어 안정적이고 추적 가능한 실리콘 카바이드 스퍼터링 타겟을 제공할 수 있으며, 고객이 R&D 및 적용 단계에서 신뢰할 수 있는 박막 증착 결과를 달성할 수 있도록 지원합니다.
분자 공식: SiC
분자량: 52.11 g/mol
외관: 검은색, 고밀도 타겟 블록
밀도: 3.21-3.22 g/cm³(소결 타겟)
융점: 2730°C(분해)
결정 구조: 육각형(α-SiC); 입방체(β-SiC)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
