이산화 티타늄
스퍼터링 타겟은 물리적 기상 증착(PVD) 공정에서 기능성 산화물 박막 제조에 적합한 저가치 이산화 티타늄 타겟입니다. 본 타겟은 전자 재료, 기능성 박막, 전이 금속 산화물 관련 연구 분야에서 널리 사용됩니다.
연구용 및 산업용 박막 증착을 위해 안정된 조성 및 균일한 구조의 Ti2O3 스퍼터링 타겟을 공급합니다. 기술 정보는 문의
바랍니다.
저가치 티타늄 산화물 타겟
안정적인 조성 및 결정상
우수한 스퍼터링 공정 제어성
높은 필름 조성 일관성
다양한 PVD 시스템 적용 가능
신뢰할 수 있는 배치 안정성
기능성 산화물 박막:
특정 전기적 또는 구조적 특성을 가진 산화물 박막 증착에 일반적으로 사용되며, 기능성 재료 및 소자 연구에 적합합니다.
전자 및 반도체 재료 연구:
전이 금속 산화물 박막 제조에 적합하며, 전기적 전도 특성, 밴드 구조 및 계면 특성 연구에 활용됩니다.
연구실 및 실험실 박막 제조:
명확한 화학 조성으로 인해 Ti2O3 박막은 대학 및 연구 기관의 박막 증착 실험에 널리 사용됩니다.
신규 기능성 소재 개발:
신규 산화물 소재 시스템에서 Ti₂O₃ 박막은 종종 기초층 또는 기능층으로 사용되어 소재 특성을 탐구합니다.
Q1: 산화 티타늄 스퍼터링 타겟은 주로 어떤 종류의 박막에 사용됩니까?
A1: 주로 저가치 산화 티타늄 또는 관련 기능성 산화물 박막 증착에 사용되며, 전자 및 기능성 소재 연구에서 흔히 볼 수 있습니다.
Q2: 산화티타늄 타겟을 스퍼터링할 때 대기 제어는 필요한가요?
A2: 예, 박막 내 티타늄의 원자가 상태와 조성 안정성을 보장하기 위해 스퍼터링 중 산소 분압 또는 작업 대기를 제어해야 합니다.
Q3: 산화티타늄 스퍼터링 타겟에 적합한 스퍼터링 방법은 무엇인가요?
A3: 일반적으로 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템에 적합하며, 장비 조건에 따라 다른 PVD 공정에도 적용 가능합니다.
Q4: 이산화티타늄 스퍼터링 타겟으로 제조된 박막의 연구적 가치는 무엇인가요?
A4: 이 유형의 박막은 전기적 특성, 상변화 행동 및 전이 금속 산화물 메커니즘 연구에서 상당한 연구 가치를 지닙니다.
각 배치에는 다음이 함께 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공
당사는 기능성 산화물 스퍼터링 타겟의 안정적인 제조 및 품질 관리를 전문으로 하여 Ti₂O₃ 박막 증착을 위한 신뢰할 수 있는 재료 기반 지원을 제공합니다.
분자식: Ti₂O₃
분자량: 143.88 g/mol
외관: 적갈색 표적 물질
밀도 4.97 g/cm³
융점: 1870°C
끓는점: 약 2500°C
결정 구조: 육각형(커런덤 타입)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
