티타늄 실리콘 카바이드
스퍼터링 타겟은 MAX 상 구조를 기반으로 한 기능성 세라믹 타겟으로, 금속의 전도성과 세라믹의 고온 저항성을 결합합니다. 이 타겟은 주로 고온 저항성, 전도성 및 구조적 안정성이 요구되는 기능성 박막 제조에 사용됩니다.
저희는 균일한 조성 및 안정된 구조를 가진 Ti3SiC2 스퍼터링 타겟을 제공하며, DC 또는 RF 마그네트론 스퍼터링 공정에 적합합니다. 장비 요구 사항에 맞춰 다양한 크기와 구조 형태를 제공할 수 있습니다. 기술적 매개변수 및 적용 제안에 대해서는 문의해
주십시오.
MAX 상
층상 결정 구조
우수한 전기 전도성, 마그네트론 스퍼터링에 적합
탁월한 열안정성 및 열충격 저항성
스퍼터링 중 안정된 조성 및 우수한 재현성
고온 및 진공 증착 환경에 적합
기능성 및 구조용 박막 제조에 활용 가능
기능성 박막 증착:
전도성과 고온 저항성을 동시에 갖춘 기능성 박막 제조에 사용되며, 고급 기능성 장치 응용에 적합합니다.
고온 내성 및 보호 코팅:
Ti₃SiC₂ 박막은 고온 조건에서 우수한 구조적 안정성을 보이며 고온 보호 및 구조용 코팅에 사용 가능.
반도체 및 마이크로전자 연구:
반도체 소자, MEMS 및 관련 재료 연구에서 기능층 증착에 적합.
과학 연구 및 재료 개발:
MAX 상 박막, 성장 메커니즘 및 신종 층상 재료 연구에 널리 활용.
Q1: Ti3SiC2 스퍼터링 타겟은 어떤 스퍼터링 방식에 적합합니까?
A1: 본 타겟은 우수한 전도성을 지녀 DC 마그네트론 스퍼터링 및 RF 마그네트론 스퍼터링 시스템에 사용 가능합니다.
Q2: Ti3SiC2 타겟의 조성은 스퍼터링 중 안정적입니까?
A2: 합리적인 공정 조건 하에서 이 스퍼터링 타겟은 우수한 조성 일관성을 유지할 수 있어 높은 반복성이 요구되는 박막 증착에 적합합니다.
Q3: Ti3SiC2 스퍼터링 타겟은 고온 증착 공정에 적합한가요?
A3: 예, 이 타겟 재료는 우수한 열 안정성과 열충격 저항성을 지녀 고온 또는 장시간 스퍼터링 조건에 적합합니다.
Q4: Ti3SiC2 박막은 일반적으로 어떤 연구 분야에서 사용됩니까?
A4: 주로 MAX 상 박막, 생체 적합성 재료 연구, 내마모성 및 고온 코팅, 전도성 세라믹 박막에 사용됩니다.
각 배치에는 다음이 함께 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질 안전 보건 자료(MSDS)
크기 검사 보고서
요청 시 제3자 테스트 보고서 제공
저희는 기능성 세라믹 및 첨단 타겟 재료의 연구 및 공급을 전문으로 하며, 재료 구조 제어, 타겟 고밀도화 및 응용 적응을 위한 안정적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공하여 연구 및 산업용 박막 증착 요구를 지원합니다.
분자식: Ti₃SiC₂
분자량: 195.87 g/mol
외관: 회색 대상 물질
밀도: 약 4.5g/cm³
결정 구조: 육각형(P6₃/mmc, 최대 위상)
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 담아 박스에 포장합니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
