| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 400600ST001 | ZrC | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 400600ST002 | ZrC | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 50.8 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 400600ST003 | ZrC | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 400600ST004 | ZrC | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 76.2 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 400600ST005 | ZrC | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 101.6 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 400600ST006 | ZrC | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 101.6 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 400600ST007 | ZrC | 99.5% (Zr + Hf) | Ø 203.2 mm x 6.35 mm | Inquire |
지르코늄 카바이드
스퍼터링 타겟은 고성능 박막 증착을 위해 설계된 첨단 세라믹-금속 복합 재료입니다. 우수한 열 안정성, 높은 경도 및 우수한 전기 전도성을 지닌 ZrC 타겟은 연구용 및 산업용 PVD 시스템 모두에서 균일하고 치밀하며 접착력이 뛰어난 코팅을 제공합니다.
당사의 ZrC 타겟은 고밀도, 낮은 다공성 및 강력한 기계적 무결성을 달성하기 위해 핫 프레스 또는 스파크 플라즈마 소결(SPS) 공정을 통해 제조됩니다. 평면형, 회전형, 본딩형 및 맞춤형 기하학적 구조 등 다양한 형태로 제공되어 다양한 진공 코팅 장비 요구 사항을 충족합니다.
고순도
낮은 불순물 함량
고밀도
낮은 다공성
우수한 전기 전도성
DC 및 RF 마그네트론 스퍼터링 공정 호환
맞춤형 형상 및 치수
평면, 회전, 계단형 또는 본딩 타겟 제공, 맞춤형 장착 옵션 지원
경질 코팅: 내마모성, 내침식성 및 고온 표면용
기능성 세라믹 필름: 전도성, 내화성 및 고경도 코팅에 이상적
기능성 세라믹 필름: 전도성, 내화성 및 고경도 코팅에 이상적입니다.
마이크로전자 및 센서: 확산 차단층, 전도층 및 고온 전자 부품에 적합합니다.
광학
및 적외선 코팅: IR 및 가시광선 스펙트럼 응용을 위한 내구성 있고 고성능 필름 구현.
Q1: ZrC 타겟은 어떤 형상과 규격으로 제공되나요?
A1: 평면 디스크, 플레이트, 스텝 타겟, 회전 튜브, 구리(Cu) 또는 알루미늄(Al) 백킹 플레이트가 부착된 본딩 타겟을 제공합니다. 맞춤형 형상도 설계 가능합니다.
Q2: ZrC 타겟은 고출력 스퍼터링에서 작동 가능한가요?
A2: 예. 우수한 열전도성, 경도 및 기계적 강도로 고출력 조건에서도 안정적인 증착이 가능합니다.
Q3: ZrC 타겟은 어떻게 보관해야 하나요?
A3: 건조하고 밀폐된 환경에 보관하십시오. 표면 산화를 방지하기 위해 습기와 부식성 가스를 피하십시오.
Q4: 합금 조성이나 밀도를 조정할 수 있나요?
A4: ZrC는 일반적으로 화학량론적 세라믹이지만, 스퍼터링 시스템에 맞춰 밀도, 두께, 접합 방식을 맞춤 제작할 수 있습니다.
각 배치에는 다음이 제공됩니다:
분석 증명서(COA)
물질안전보건자료(MSDS)
요청 시 제3자 시험 보고서 제공
일관된 필름 품질: 낮은 입자 발생과 균일한 침식으로 매끄럽고 치밀한 코팅 구현.
맞춤형 제조: 귀사의 증착 장비에 맞춰 맞춤형 형상, 두께 및 본딩 제공.
기술 지원:
스퍼터링 파라미터, 타겟 설치 및 박막 최적화에 대한 가이드라인 제공.
품질 보증: 각 타겟은 순도, 밀도, 미세구조 및 전기적 특성에 대해 테스트됩니다.
안정적인 공급 및 배송: 안정적인 생산 및 재고 관리로 R&D 및 생산 수요에 대한 신속한 배송 보장.
분자 공식: ZrC
분자량: 103.23 g/mol
외관: 표면이 매끄럽고 평평한 짙은 회색에서 검은색의 고밀도 세라믹 타겟 소재
밀도: 약 6.5-6.6g/cm³
융점 약 3,532°C
끓는점 약 5,100 °C
결정 구조: 입방정계(NaCl 유형 구조), 격자 안정적
내부 포장: 오염 및 습기 방지를 위해 진공 밀봉 봉지에 포장 후 박스에 담습니다.
외부 포장: 크기와 무게에 따라 골판지 상자 또는 목재 크레이트를 선택합니다.
