マグネシウム金属
スパッタリングターゲットは、真空蒸着プロセスで使用される高純度金属ターゲットであり、優れたスパッタリング安定性と膜均一性を示します。主に機能性薄膜の作製、表面改質、および関連材料研究に使用されます。
当社は様々なサイズ、純度、構造のマグネシウム金属スパッタリングターゲットを提供し、カスタマイズ加工と安定供給をサポートします。仕様や見積もりについては直接お問い合わせ
ください。
高純度マグネシウム金属ターゲット
緻密な微細構造、安定したスパッタリング
均一な成膜性、良好な再現性
制御可能な不純物含有量
各種スパッタリング装置との互換性
カスタムサイズ・形状対応
機能性薄膜成膜:マグネシウム金属または関連機能層薄膜の作製に使用可能。薄膜の均一性と純度要件を満たします。
表面改質・コーティング研究:材料表面工学において、本ターゲットを用いたスパッタリングにより表面特性制御と構造最適化を実現。
真空コーティングプロセス開発:マグネトロンスパッタリング及び関連真空プロセスにおけるパラメータ試験・プロセス検証に広く使用。
研究・実験室用途:大学・研究機関において、新規薄膜材料や反応メカニズムの研究に広く活用。
質問Q1: マグネシウム金属スパッタリングターゲットに適したスパッタリング法は?
A1: 主にマグネトロンスパッタリングおよび関連真空蒸着プロセスで使用されます。具体的な方法は装置に応じて選択可能です。
Q2: マグネシウムターゲットはスパッタリング中に酸化されやすいですか?
A2: マグネシウムには一定の反応性があります。酸化の影響を低減するため、通常は制御雰囲気下および真空条件下で使用されます。
Q3: マグネシウム金属スパッタリングターゲットはサイズのカスタマイズが可能ですか?
A3: はい、ターゲットサイズと装置要件に基づきカスタマイズ可能です。
Q4: マグネシウムターゲットは長期連続使用に適していますか?
A4: 適切な電力とプロセスパラメータ下では、マグネシウムターゲットは安定したスパッタリング性能を維持できます。
各ロットに付属:
寸法検査報告書
第三者試験報告書
ご要望に応じて提供
当社はスパッタリングターゲットの材料管理と加工一貫性を専門とし、実際の装置・プロセス要件に基づいたカスタマイズソリューションを提供。これによりお客様の薄膜安定性向上と試行錯誤コスト削減を支援します。
分子式Mg
分子量:24.31 g/mol
外観銀白色の緻密なターゲット
密度: 1.738 g/cm³
融点: 650 °C
沸点:1090 °C
結晶構造六方最密充填 (hcp)
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。