ジルコニウム金属ロータリー
ターゲットは、高効率連続スパッタリング向けに設計されており、優れた膜均一性、長寿命、高スループット薄膜成膜時の卓越した安定性を提供します。高純度ジルコニウムから製造されたロータリーターゲットは、優れた密度、最適化された結晶粒構造、低不純物レベルを特徴とし、広大な基板領域にわたって一貫したスパッタリング性能を保証します。
当社は、さまざまな PVD コーティングシステムに合わせて完全にカスタマイズ可能な、さまざまな長さ、直径、組成のジルコニウム回転ターゲットを供給しています。専門的なボンディング、
機械加工、表面仕上げサービスもご利用いただけます。当社の技術チームは、お客様の装置マッチング、プロセス最適化、トラブルシューティングをサポートいたします。
高純度
連続的な高レートスパッタリングに最適化
高密度で均質な微細構造
低不純物および低酸素レベル
カスタム長さ、直径、ボンディングオプション
大面積コーティングおよび大量生産に最適
建築用および自動車用ガラスコーティング:優れた均一性と安定した長期スパッタリングを必要とする大面積のフィルムに最適です。
光学
および機能性コーティング:反射性、保護性、耐食性の薄膜層に適しています。
半導体
およびエレクトロニクス:バリア層、導電性フィルム、特殊機能コーティングに使用されます。
エネルギーおよび先端材料:水素関連フィルム、触媒層、および人工表面材料に適用されます。よくある
Q1:ジルコニウム回転ターゲットにはどのようなサイズがありますか?
A1:さまざまな回転スパッタリングシステムに合わせて、チューブの長さ、外径、肉厚、ボンディングタイプなど、完全なカスタマイズを提供しています。
Q2: ジルコニウム回転ターゲットは高出力成膜に対応しますか?
A2: はい。高密度かつ均一な結晶粒構造により、高出力・長時間スパッタリング条件下でも安定した性能を発揮します。
Q3: ジルコニウム回転ターゲットの保管・取り扱い方法を教えてください。
A3: 清潔で乾燥した環境で保管し、表面を湿気や汚染物質から保護してください。傷や変形を防ぐため慎重に取り扱ってください。
Q4: ボンディング
サービスは提供されていますか?
A4: はい。ステンレス鋼やその他の適合材料を含む高強度チューブへの専門的なボンディングを提供しています。
各バッチには以下が付属します:
分析証明書(COA)
技術データシート(TDS)
物質安全データシート(MSDS)
第三者試験報告書はご要望に応じて提供可能です。
優れた膜均一性:ロータリー設計により、大面積コーティングにおいて極めて安定した成膜を実現。
先進製造技術:高密度焼結と精密加工により優れたスパッタリング効率を実現。
カスタマイズ設計ソリューション:寸法・接合方法・純度レベルを設備や膜要件に合わせて調整可能。
包括的品質管理:
全ターゲットにCOA/MSDSを添付、第三者試験報告書はご要望に応じて提供。
信頼性の高いグローバル供給:強力な生産能力と在庫管理により迅速かつ途切れない納品を実現。
分子式Zr
原子量: 91.22 g/mol
外観銀灰色の金属回転ターゲットで、外面は滑らかで、均一で緻密な構造。
密度約6.52 g/cm³
融点約1,855 °C
沸点約4,377 °C
結晶構造六方最密充填 (hcp, α-Zr)
内包装:汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装:サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。