酸化ジルコニウムスパッタリングターゲットは
、先進的な電子・光学用途において安定した高品質な薄膜成膜を実現する高純度セラミックターゲットです。耐久性・絶縁性・耐摩耗性に優れた薄膜の製造に最適です。
当社は様々な形状・サイズ・厚さのZrO₂スパッタリングターゲットを製造し、密度・表面仕上げ・化学組成を精密に制御します。 お客様の薄膜成膜プロセスを最適化するため、カスタム寸法、特殊形状ターゲット、技術サポート
を提供します。お問い合わせください。
高純度かつ化学的安定性
緻密で欠陥のないセラミック構造
優れた熱的・機械的安定性
低粗度の平滑表面
安定した薄膜成膜性能
成膜層の高い密着性
ロット間品質の安定性
RF/DCスパッタリングシステム対応
耐摩耗性・耐食性薄膜
カスタム形状・サイズ対応
オプトエレクトロニクス：
透明絶縁層や保護コーティングに使用
半導体：
マイクロエレクトロニクスデバイスの誘電体層・バリア層に適用
保護コーティング：耐摩耗性・耐食性薄膜に最適
研究開発：セラミックス・機能性酸化物コーティングの実験室研究に適す
質問Q1: ZrO2スパッタリングターゲットの出荷時の包装方法は？
A1: 表面損傷や汚染を防止するため、真空密封後、保護用帯電防止フィルムで包装し、強化段ボール箱に収納します。
Q2: ターゲットの寸法や表面仕上げはカスタマイズ可能ですか？
A2: はい、特定の成膜要件に応じて、ZrO2ターゲットのカスタムサイズ、厚さ、表面仕上げを製造可能です。
Q3: 推奨される保管条件は？
A3: ターゲットの完全性と性能を維持するため、湿気・塵・腐食性化学物質を避け、乾燥した清潔な環境で保管してください。
Q4: 提供される純度と性能保証は？
A4: 当社のZrO2ターゲットは、高い化学的純度、緻密なセラミック構造、均一な微細構造を維持し、一貫した薄膜成膜品質を保証します。
各ロットには以下を添付：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書（要請求）
電子・光学・保護薄膜用途向けに、密度管理済み・表面平滑・信頼性の高いプレミアムZrO2スパッタリングターゲットを提供。 技術相談、カスタム仕様、迅速な納品により、産業環境と研究環境の両方で一貫した高品質の成膜結果を実現します。
分子式ZrO₂
分子量：123.22 g/mol
外観表面が滑らかな白色の緻密なセラミックターゲット
密度約5.68 g/cm³
結晶構造単斜晶/正方晶/立方晶の各相があり、安定性が高い。
内包装：汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装：サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。
