酸化ジルコニウム

酸化ジルコニウム回転ターゲット概要

酸化ジルコニウム回転
スパッタリングターゲットは、先進的な光学・電子用途における均一で広範囲な薄膜成膜を目的とした高密度セラミックターゲットです。耐摩耗性、絶縁性、高性能な薄膜を一貫した被覆率で製造するのに最適です。

当社は密度、組成、表面仕上げを精密に制御したZrOx回転ターゲットを製造しています。 お客様の成膜装置に合わせて、様々な直径、長さ、回転対応設計に対応可能です。お問い合わせください。

製品の特長

高密度かつ化学的安定性
均一なセラミック微細構造
滑らかで欠陥のない表面
優れた熱的・機械的性能
安定した薄膜成膜特性
大面積コーティングシステムに適応
低汚染・高純度
DCおよびRFスパッタリングに対応
連続回転成膜下での耐久性
カスタマイズ可能なサイズと形状

ZrOx回転ターゲットの用途

光学
コーティング：レンズやディスプレイの透明で耐摩耗性のある層に使用。
半導体
デバイス：マイクロエレクトロニクスにおける誘電体およびバリア薄膜に適用。
保護フィルム：産業機器の耐食性・耐摩耗性コーティングに最適。
研究開発用途：機能性酸化物や先進セラミックスの実験室研究に適しています。

よくある

質問Q1: ZrOxロータリーターゲットの輸送時の包装方法は？
A1: 輸送中の損傷や汚染を防ぐため、ターゲットは真空密封され、保護フォーム入り強化木箱に固定されます。

Q2: ロータリーターゲットの寸法や組成はカスタマイズ可能ですか？
A2: はい。お客様の成膜装置やプロセス要件に合わせて、様々な直径、長さ、酸化物組成を提供します。

Q3: ZrOxロータリーターゲットの推奨保管条件は？
A3: ターゲットの完全性を維持するため、湿気・粉塵・腐食性化学物質を避け、乾燥した清潔で安定した環境で保管してください。

Q4: 純度と性能保証は？
A4: 当社のZrOxロータリーターゲットは、高い化学的純度、均一な密度、滑らかな表面品質を維持し、一貫した薄膜成膜結果を保証します。

報告書

高精度な密度、滑らかな表面、安定した成膜性能を備えた高品質ZrOx回転スパッタリングターゲットを提供します。技術コンサルティング、カスタマイズ設計、確実な納品により、光学・電子・保護用途向けの高品質薄膜実現を支援します。