酸化ガリウムスズ（GTO）

ガリウムスズ酸化物スパッタリングターゲット概要ガリウムス

ズ

酸化物複合スパッタリングターゲットは

、広帯域ギャップ半導体材料である酸化ガリウム（Ga₂O₃）と、透明導電性酸化物材料である酸化スズ（SnO₂）を特定の比率で組み合わせることで調製された機能性セラミックターゲットである。 ドーピングや複合処理により、Ga₂O₃の高い絶縁破壊電圧特性とSnO₂の導電性を統合することを目的としています。この材料は、特定の光電子特性を有する複合酸化物薄膜の成膜に適しており、新規透明エレクトロニクス、深紫外光電子デバイス、高性能ガスセンサーなどの応用分野での活用が期待されています。

お客様の研究・開発要件に応じ、Ga₂O₃:SnO₂比率（モル比または重量比）を変化させた複合セラミックスパッタリングターゲットを、高純度（≥99.9%）でカスタマイズ可能です。標準的な円形または矩形ターゲットサイズに加え、専門的なボンディング
サービスも提供しています。具体的な組成ソリューションのご相談、お見積り、技術資料のご請求はお問い合わせください
。

製品の特徴

組成のカスタマイズ性に優れる
高純度・高密度
二つのワイドバンドギャップ材料の特性を併せ持つ
優れた膜均一性の可能性
プロフェッショナルなボンディングサービスを提供

酸化ガリウムスズスパッタリングターゲットの応用

透明エレクトロニクス＆ディスプレイ：新規ディスプレイタッチ電極や省エネ窓向け透明導電膜（TCO）の成膜。
深紫外線オプトエレクトロニクス：デイブラインドUV検出器やLEDの透明電極・機能層として使用し、デバイス性能を向上。
高性能ガスセンサー：複合材料の表面活性を活用し、高感度・高選択性ガスセンサー（例：O₂、CO）を開発。
保護・機能性コーティング：過酷環境下における部品用の耐摩耗性・耐食性機能性保護コーティングとして機能。

よくある質問

Q1: 純ガリウム酸化物ターゲットと比較した本複合ターゲット材料の利点は？
A1: 主な利点は調整可能な電気的・光学的特性にあります。SnO₂の導入により薄膜導電性が大幅に向上し、透明電極などへの応用範囲が広がります。

Q2: 適切なGa₂O₃とSnO₂の比率をどう決定すればよいですか？
A2: これはターゲット薄膜の特性に依存します。SnO₂比率を高めると導電性が向上し、Ga₂O₃比率を高めると耐破壊電圧と紫外線耐性が向上します。 通常、実験による最適化が必要です。

Q3: この材料は安全ですか？
A3: 固体ターゲット自体は安定しています。ただし、粉末の取り扱い・調製時には吸入防止のため、標準的な化学粉塵対策を実施してください。

Q4: ターゲットの保管・維持管理方法は？
A4: 乾燥した環境で密封・防湿容器に保管してください。セラミック材料のため、取り扱い時の衝撃を避けてください。 使用後はターゲット表面を清掃してください。各バッチには以下が付属します：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
安全データシート（MSDS）
第三者試験報告書（要請求）

当社を選ぶ理由：

当社はワイドバンドギャップ半導体材料のカスタマイズ開発を専門とし、最先端の探求と革新的な応用を支える専門的な技術ソリューションを提供します。