酸化アルミニウム・イットリウム・ツリウム スパッタリングターゲットは、優れた熱安定性、機械的強度、独自の光学的または磁気的特性を必要とする高度な薄膜蒸着用途向けに設計されたプレミアムセラミックコンポジットターゲットです。酸化ツリウム 酸化ツリウム(Tm₂O₃)への アルミナ-イットリアを添加することで、ルミネッセンスと磁気機能が強化され、オプトエレクトロニクス、フォトニクス、先端コーティング技術に最適です。
超高純度原料粉末から精密な焼結とホットプレス工程を経て製造される当社のAl2O3-Y2O3-Tm2O3ターゲットは、高密度、均一な微細構造、安定したスパッタリング性能を提供します。また、アフターサービスも万全です。 お問い合わせお問い合わせください。
Al₂O₃、Y₂O₃、Tm₂O₃比を制御した高純度アルミニウム・イットリウム・ツリウム酸化物セラミック複合体（≥99.5%）。
均一なターゲット侵食のための優れた密度と低い気孔率
Tm₂O₃ドーピングによる発光特性と磁気特性の向上
特定の要件に合わせてサイズ、形状、組成をカスタマイズ可能
オプトエレクトロニクス発光膜や発光デバイスの作製用
フォトニックデバイス特殊な磁気特性や光学特性を持つ薄膜コーティングに使用されます。
保護膜工具や機械部品の高硬度耐摩耗層
センサーとMEMS高度なセンシング用途の機能性フィルム
分析証明書（COA）
製品安全データシート（MSDS）
密度および純度試験報告書
ご要望に応じた第三者品質証明書（オプション
当社は、信頼性の高い酸化アルミニウム・イットリウム・ツリウムのスパッタリングターゲットサプライヤーとして、優れた膜の均一性、強固な密着性、安定した成膜速度を実現する高純度、高密度のターゲットを提供しています。当社の製品は、低不純物レベル、正確な化学量論、カスタマイズ可能な寸法と組成を特徴としており、光学コーティング、先端エレクトロニクス、レーザー技術アプリケーションに最適です。厳格な品質管理、専門的な技術サポート、グローバルでコンプライアンスに準拠したデリバリーにより、お客様の要求の厳しいプロジェクトに一貫した信頼性の高い供給をお約束します。
化学式：Al₂O₃-Y₂O₃-Tm₂O₃
外観滑らかな研磨面を持つ緻密な白色セラミックターゲット
密度通常3.6-4.0 g/cm³（組成に依存する）
融点： 2000 °C
結晶構造：コランダム(Al₂O₃)、立方晶蛍石(Y₂O₃)、ビックスバイト(Tm₂O₃)相
熱伝導率：中程度で、スパッタリング中のターゲットの安定性を確保
化学的安定性：酸化および化学腐食に対する優れた耐性
危険物として分類されていない
包装：コンタミネーションや湿気から保護するため、真空シールされた袋。
外箱サイズと重量に応じて、カートンまたは木箱。
壊れやすい対象物：安全な輸送を確保するため、特別な保護梱包を使用します。
