| Product ID | Formula | Purity | Dimension | Inquiry |
|---|---|---|---|---|
| 730700ST001 | TaN | 99.5% | Ø 25.4 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 730700ST002 | TaN | 99.5% | Ø 50.8 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 730700ST003 | TaN | 99.5% | Ø 76.2 mm x 3.175 mm | Inquire |
| 730700ST004 | TaN | 99.5% | Ø 101.6 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 730700ST005 | TaN | 99.5% | Ø 203.2 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 730700ST006 | TaN | 99.9% | Ø 76.2 mm x 6.35 mm | Inquire |
| 730700ST007 | TaN | 99.9% | Ø 101.6 mm x 6.35 mm | Inquire |
窒化タンタルスパッタリングターゲットは、高度な薄膜形成プロセス用に設計された高性能セラミック材料です。高純度で緻密な構造を持ち、優れた硬度と熱安定性により、均一な成膜と長期安定したプロセス性能を実現します。
弊社は様々な仕様とサイズの窒化タンタルターゲットを提供しており、お客様の特別なニーズに応じてカスタマイズすることができます。また、アフターサービスも充実しております。ご質問等ございましたら、お気軽に ご連絡ください。
純度：99.5%～99.9
均一な成膜を保証する高密度
様々な装置のニーズに対応するため、サイズと形状をカスタマイズ可能
半導体デバイス、ハードコート、耐摩耗性保護膜に最適
半導体 熱安定性と耐食性に優れた拡散バリアや導電層として使用される。
硬質コーティング：切削工具、金型、機械部品の表面の硬度と耐摩耗性を高めるために広く使用されている。
耐摩耗性保護膜：機器の耐摩耗性を向上させ、耐用年数を延ばすために使用される。
マイクロエレクトロニクスデバイス：低抵抗コンタクト層や保護層として、デバイスの性能安定性を向上させる。
詳細な 分析証明書（COA）製品安全データシート（MSDS）および関連する品質検査報告書を提供し、安定した信頼性の高い製品品質を保証します。同時に、第三者検査サービスをサポートし、お客様により高い品質保証を提供します。
分子式TaN
分子量：183.84 g/mol
外観滑らかで均一な表面を持つ濃い灰色の緻密なセラミックターゲット
密度：約14.5 g/cm³（理論密度に近い）
融点：約3,700 °C
結晶構造：面心立方(fcc)
包装：真空シールされた袋と、汚染や湿気を防ぐための箱詰め。
外箱梱包：サイズと重量に応じて選択されたカートンまたは木枠。
