リン酸鉄リチウム（LFP）

リン酸鉄リチウムスパッタリングターゲット概要

リン酸鉄リチウム

スパ

ッタ

リング

ターゲット

は、

LiFePO₄機能層の薄膜成膜用に設計されたリン酸塩系セラミックターゲットである。オリビン結晶構造、高い熱安定性、電気化学的信頼性を有するため、主にリチウムイオンマイクロ電池、薄膜エネルギー貯蔵デバイス、先端材料研究の開発・研究に使用される。

リン酸鉄リチウムスパッタリングターゲットは、安定した再現性のある薄膜成膜を保証するため、制御された化学量論比と緻密な微細構造で製造されています。精密な膜組成、膜厚、均一性が要求されるRFスパッタリングおよびマグネトロンスパッタリングプロセスに適しています。

製品の特長

高い構造的・熱的安定性を有するオリビン型LiFePO₄相
一貫したスパッタリング性能を実現する緻密なセラミック構造
均一な薄膜組成を支える制御された化学量論
RFおよびマグネトロンスパッタリングシステムとの互換性
マイクロ電池および薄膜電池研究向けに設計
一般的な基板との良好な密着性および適合性リン

酸鉄リチウムスパッタリングターゲットの用途

薄膜リチウムイオンマイクロ電池：
LiFePO4スパッタリングターゲットは、マイクロ電池および薄膜エネルギー貯蔵デバイス用のカソード層の成膜に使用されます。
高安定性エネルギー貯蔵研究：
LiFePO4ターゲットから成る薄膜は、マイクロスケールエネルギーシステムにおけるサイクル安定性、リチウムイオン輸送、電気化学的性能の研究に使用されます。
電気化学・材料科学研究：
本ターゲットは、リン酸塩系カソード薄膜、電極最適化、機能性材料研究の先進的研究を支援します。
機能性リン酸酸化物コーティング：
LiFePO4ターゲットは、エネルギー貯蔵、電子、光学デバイス向け機能性コーティングの開発に応用されます。

よくある質問

Q1: リン酸鉄リチウムターゲットに適したスパッタリング法は？
A1: LiFePO₄ターゲットは、そのセラミック性と絶縁性から、通常RFまたはマグネトロンスパッタリングシステムで使用されます。

Q2: LiFePO₄薄膜はスパッタリング中にリチウム含有量を維持できますか？
A2: 適切なターゲット設計と最適化されたスパッタリングパラメータにより、リチウム損失を最小限に抑え、薄膜組成の一貫性を確保します。

Q3: これらのターゲットはバッキングプレートにボンディングできますか？
A3: はい、ターゲットサイズとスパッタリングシステムの要件に基づき、ボンディングオプションを提供可能です。

Q4: LiFePO₄薄膜と互換性のある基板は？
A4: 一般的な基板には、シリコンウェーハ、ガラス、サファイア、その他薄膜電池研究で使用される基板が含まれます。

報告書

各バッチには以下が付属します：
分析証明書（COA）
技術データシート（TDS）
物質安全データシート（MSDS）
サイズ検査報告書
ご要望に応じて第三者試験報告書も提供可能

材料の利点

リン酸鉄リチウムスパッタリングターゲットは、マイクロ電池研究、薄膜カソード堆積、リン酸塩系エネルギー貯蔵研究で頻繁に検索されます。緻密なセラミック構造、制御された化学量論、RF/マグネトロンスパッタリングシステムとの互換性が、高い検索可視性と技術的関連性を支えています。