リン酸マンガンリチウムスパ
ッタリング
、薄膜作製や科学研究実験に使用される高純度リチウムイオン電池正極材料ターゲットです。均一な薄膜堆積を可能にし、パワー電池研究、固体電池、機能性コーティングに広く活用されています。
高密度・高均一性のリン酸マンガンリチウムスパッタリングターゲットを提供可能です。寸法や厚みはお客様のご要望に応じてカスタマイズできます。サンプルやカスタマイズソリューションについてはお問い合わせください
！
の特徴高純度・低不純物
高密度・機械的強度
安定した結晶構造・優れた薄膜均一性
サイズ・形状・厚さのカスタマイズ対応
科学研究から産業応用まで幅広く対応
迅速な技術サポート対応
・パワー電池研究：
高性能電池開発向けLMP薄膜カソード材料の作製に利用
・全固体電池：
全固体電池の薄膜成膜をサポートし、界面均一性とイオン伝導性を確保
機能性コーティング：
光電子工学、マイクロエレクトロニクス等の分野における高精度薄膜形成に適用可能。
Q1: リン酸マンガンリチウムスパッタリングターゲットに適した成膜プロセスは？
A1: マグネトロンスパッタリングや電子線蒸着等の従来型PVDプロセスに適合。
Q2: ターゲットのサイズ・厚みはカスタマイズ可能ですか？
A2: はい、お客様の装置要件に応じて様々な仕様をご用意可能です。
Q3: スパッタ成膜の均一性はどの程度ですか？
A3: ターゲット密度と最適化された結晶構造により、極めて均一な成膜を実現します。
Q4: ターゲットの純度と不純物管理要件は？
A4: 純度99.9%以上、金属不純物と酸素含有量を厳密に管理。
各ロットに付属：
寸法検査報告書
第三者試験報告書
ご要望に応じて提供
専門的なターゲット生産設備と技術チームを有し、カスタマイズされた高品質LMPスパッタリングターゲットを提供。科学研究や産業応用において、安定かつ効率的な薄膜成膜結果を保証します。
分子式LiMnPO₄ (LiMnPO₄)
分子量：156.85 g/mol
外観濃灰色固体ターゲット材
密度3.50 g/cm³
結晶構造斜方晶系
内包装：汚染や湿気を防ぐため、真空パック袋に入れ、箱詰めします。
外包装：サイズと重量に基づき、カートンまたは木箱を選択します。
